文献

J-GLOBAL ID：202202229799602675   整理番号：22A0728653

原子層堆積TiO_2膜の負の熱光学特性に及ぼす熱誘起相転移の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of Thermally Induced Phase Transition on the Negative Thermo-Optic Properties of Atomic-Layer-Deposited TiO₂ Films

著者 (9件)： Park Honghwi (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea) ,  Jung Jaedong (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea) ,  Zhang Yuxuan (School of Engineering Technology, Purdue University, Indiana, United States) ,  Liu Mingyuan (School of Engineering Technology, Purdue University, Indiana, United States) ,  Lee Jonghyung (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea) ,  Noh Hyowoong (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea) ,  Choi Muhan (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea) ,  Lee Sunghwan (School of Engineering Technology, Purdue University, Indiana, United States) ,  Park Hongsik (School of Electronic and Electrical Engineering, Kyungpook National University, Republic of Korea)
資料名： ACS Applied Electronic Materials  (ACS Applied Electronic Materials)
巻： 4  号： 2  ページ： 651-662  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5669A  ISSN： 2637-6113  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO_2の負の熱光学特性は,温度変化による光学的性能不安定性を緩和することができる非熱的フォトニックデバイスに対して有望と考えられる。温度が上昇すると,その負の熱光学係数(TOC)は,正のTOCを持つSiのような広く使用された光学材料によって示される屈折率の好ましくない増加を補償することができる。TiO_2の構造-特性関係を,TiO_2の負の熱光学挙動を理解するために徹底的に調べた。原子層堆積と温和な熱アニーリングにより,得られた負のTOC値は,可視から近赤外領域で-2.30×10-4/°Cと高かった。X線回折/反射率および温度依存屈折率測定は,アナターゼTiO_2のより高い結晶性が,非晶質または弱結晶状態に比べて,そのより高い密度とより低い多孔性のため,より大きな負のTOC値をもたらすことを明らかにした。Prod’hommeモデルとバンドギャップ分析は,体積膨張の影響が,分極率よりもTiO_2の強化された負のTOCに対してより支配的であることを明らかにした。光電子分光測定は,TiO_2中の非晶質から結晶への変態をさらに支持するアニーリング中の非晶質緩和過程を示唆する。非熱的応用に対するTiO_2の負のTOCを支配する構造と化学的性質の知見は,高い正のTOCsによる強い性能不安定性を示す多くのフォトニックデバイスに対して重要な関連性がある。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  温度 ,  屈折率 ,  *光学的性質 ,  焼なまし ,  *相転移 ,  反射率 ,  分極率 ,  ケイ素 ,  温度依存性 ,  非晶質 ,  緩和現象 ,  アナターゼ ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： フォトニックデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： TiO_2 ,  負の熱光学特性 ,  フォトニックデバイス ,  無熱化 ,  結晶性 ,  アナターゼ

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子層堆積 ,  光学特性 ,  誘起 ,  相転移