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J-GLOBAL ID：202202231005775307   整理番号：22A0780549

モノリシック自己ロールアップマイクロチューブインターディジタルキャパシタの物理的モデリング【JST・京大機械翻訳】

Physical Modeling of Monolithic Self-Rolled-Up Microtube Interdigital Capacitors

著者 (7件)： Luo Xiang (Intelligent Interconnected Systems Laboratory of Anhui Province, School of Microelectronics, Hefei University of Technology, Hefei, China) ,  Yang Zhendong (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Champaign, IL, USA) ,  Kraman Mark (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Champaign, IL, USA) ,  Sang Lei (Intelligent Interconnected Systems Laboratory of Anhui Province, School of Microelectronics, Hefei University of Technology, Hefei, China) ,  Zhang Yong (School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China at Qingshuihe, Chengdu, China) ,  Li Xiuling (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Champaign, IL, USA) ,  Huang Wen (Intelligent Interconnected Systems Laboratory of Anhui Province, School of Microelectronics, Hefei University of Technology, Hefei, China)
資料名： IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology)
巻： 12  号： 2  ページ： 359-367  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0590B  ISSN： 2156-3950  CODEN： ITCPC8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,モノリシック自己圧延マイクロチューブインターデジタルキャパシタのための物理モデルを提示し,オンチップ平面インターデジタルキャパシタと比較して,それらの作動機構を詳述する。薄い,広い金属膜における皮膚効果のような高周波現象の他に,このモデルは,電極間の内径依存重なりキャパシタンスとエッジ容量,ならびに,整数と非整数数ターンの指間のロールアップ構造内の寄生インダクタンスのような,全ての可能な3D電極構成から生じる複雑さを説明する。モデルは,広範囲のレイアウトとプロセスパラメータにわたって,作製した自己圧延膜(S-RuM)インターデジタルキャパシタの測定結果によって検証された。これは,この3Dデバイスアーキテクチャの電気的性能のための構造設計最適化を可能にする。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  性能 ,  圧延 ,  HF【周波数】 ,  内径 ,  *モデリング ,  金属薄膜 ,  静電容量 ,  超小形回路技術 ,  モデル ,  三次元 ,  プロセスパラメータ
準シソーラス用語： 寄生インダクタンス ,  オンチップ ,  物理モデル ,  設計最適化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  計算機シミュレーション  (JE11000H) ,  プリント回路  (NA05040O) ,  数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 自己 ,  ロール ,  物理 ,  モデリング