文献

J-GLOBAL ID：202202231393051696   整理番号：22A0706256

酸化クロム膜を用いたナノギャップ形成とパラジウム水素スイッチとしての応用【JST・京大機械翻訳】

Nanogap Formation Using a Chromium Oxide Film and Its Application as a Palladium Hydrogen Switch

著者 (8件)： Cho Minkyu (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea) ,  Cho Minkyu (School of Electrical and Computer Engineering, Georgia Institute of Technology, Georgia, United States) ,  Kim Taehwan (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea) ,  Cho Incheol (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea) ,  Gao Min (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea) ,  Kang Kyungnam (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea) ,  Yang Daejong (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Kongju National University, Republic of Korea) ,  Park Inkyu (Department of Mechanical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Republic of Korea)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 38  号： 3  ページ： 1072-1078  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大規模で製造可能な高応答水素センサの開発は,水素産業において望ましい。本研究では,クロム酸化ベースのナノギャップ形成プロセスを開発し,数十ナノメータサイズのギャップを持つ懸濁パラジウムと金膜を有する水素スイッチを作製した。ナノギャップは自己整列シャドウマスクとして酸化クロムを用いて形成した。水素スイッチは,水素ガスへの曝露によるパラジウムの体積膨張の原理と懸濁パラジウムと金膜の間に形成されるナノギャップの閉鎖による電流読み取りによって動作した。センサ性能のさらなる改善は,懸濁膜長さと厚さのような設計パラメータを最適化することによって達成された。作製したパラジウムナノギャップ水素センサは,4%の水素に対して速い応答時間(22s)でΔI/I_0>108の超高感度を示した。水素スイッチの相補的金属-オキシド-半導体適合性製作は,低製造コストで容易にスケーラブルである。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 懸濁液 ,  最適化 ,  電流 ,  半導体 ,  *水素 ,  *パラジウム ,  酸化物 ,  *酸化クロム ,  シャドウマスク ,  パラジウムめっき ,  ガスセンサ ,  自己整合
準シソーラス用語： 水素センサ ,  *ナノギャップ ,  水素ガス ,  体積膨張 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  コロイド化学一般  (CB11010C) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化クロム ,  ナノギャップ ,  パラジウム ,  水素 ,  応用