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J-GLOBAL ID：202202231585108548   整理番号：22A0704012

非熱的プラズマ中で成長した高球状SiCナノ粒子【JST・京大機械翻訳】

Highly spherical SiC nanoparticles grown in nonthermal plasma

著者 (5件)： Galar Pavel (Department of Thin Films and Nanostructures, Institute of Physics Czech Academy of Sciences, Prague, Czechia) ,  Stuchlik Jiri (Department of Thin Films and Nanostructures, Institute of Physics Czech Academy of Sciences, Prague, Czechia) ,  Mueller Martin (Department of Thin Films and Nanostructures, Institute of Physics Czech Academy of Sciences, Prague, Czechia) ,  Kocka Jan (Department of Thin Films and Nanostructures, Institute of Physics Czech Academy of Sciences, Prague, Czechia) ,  Kusova Katerina (Department of Thin Films and Nanostructures, Institute of Physics Czech Academy of Sciences, Prague, Czechia)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 19  号： 2  ページ： e2100127  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭化ケイ素(SiC)ナノ粒子は,優れた特性を持ち,可能な応用が可能である。しかし,この材料の合成は通常その高い融点(2730°C)のため高温を必要とする。本研究では,非熱プラズマを用いた高度に球状のSiCナノ結晶(50-150nm)の合成について報告するが,SiCの合成にはまだ広く使用されていないが,一般的に高融点材料には非常に適している。第一段階でSiナノ結晶を合成し,第二段階でSiC用の成長シードとして使用する2段階反応器で合成を行った。合成後,Siナノ結晶はSiCナノ粒子内部に残った。製造したSiCナノ結晶は黄色-オレンジ裸眼-可視光ルミネセンスを示した。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  プラズマ ,  光ルミネセンス ,  特性 ,  *ケイ素 ,  耐熱材料 ,  融点 ,  *炭化ケイ素 ,  オレンジ ,  反応器 ,  *ナノ粒子 ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： 非熱プラズマ ,  *低温プラズマ ,  裸眼 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ナノ粒子 ,  非熱的プラズマ ,  SiC ,  合成

分類 (5件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 非熱的プラズマ ,  成長 ,  球状 ,  SiC ,  ナノ粒子