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J-GLOBAL ID：202202231959752689   整理番号：22A0707764

微細加工共振器と回路【JST・京大機械翻訳】

Micromachined Resonators and Circuits

著者 (2件)： Koul Shiban Kishen (Centre for Applied Research in Electronics, Indian Institute of Technology Delhi, East Delhi, India) ,  Dey Sukomal (Electrical Engineering Department, Indian Institute of Technology Palakkad, Palakkad, India)
資料名： Lecture Notes in Electrical Engineering  (Lecture Notes in Electrical Engineering)
巻： 859  ページ： 123-154  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5070A  ISSN： 1876-1100  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この章は,マイクロマシン共振器とそのラジオ周波数(RF)回路への応用を示す。MEMS共振器に関連した広範囲の話題と事前作業を,妥当な範囲までより良い理解を有する読者を提供するためにカバーした。最初に,MEMS共振器の動作原理とそれらの特性を論じた。共振モード,バルクモード,剪断モードおよびねじりモードを含む共振器の一次モードを検討した。次に,容量,圧電およびピエゾ抵抗のような3つの異なる変換技術を検討した。MEMS共振器の製造の背後にある種々の課題も議論した。最後に,MEMS共振器の新しい応用,すなわち,タイミング,センシングおよび無線周波数システムにおけるそれらの利用について述べた。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  剪断 ,  圧電気 ,  振動モード ,  周波数 ,  *微細加工 ,  マイクロマシン
準シソーラス用語： 圧電抵抗 ,  共振モード ,  無線周波数 ,  動作原理 ,  MEMS共振器 ,  閲覧者 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微細加工 ,  共振器