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J-GLOBAL ID:202202232816904926   整理番号:22A1086103

スティクションベースの不揮発性メモリのためのナノ電気機械リレーの理論,設計および特性評価【JST・京大機械翻訳】

Theory, Design, and Characterization of Nanoelectromechanical Relays for Stiction-Based Non-Volatile Memory
著者 (6件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 283-291  発行年: 2022年 
JST資料番号: W0357A  ISSN: 1057-7157  CODEN: JMIYET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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モノのインターネット(IoT),航空宇宙および産業エレクトロニクスのような多様な領域は,ゼロ待機電力で,高温,放射-ハード条件下で動作するために不揮発性メモリをますます要求する。ナノ電気機械(NEM)リレーは,300°Cで作動し,高いレベルの放射線を吸収する可能性があり,全動作範囲にわたってゼロ漏れ電流を有する。不揮発性運転のためのスティクションを利用するNEMリレーが実証されているが,与えられたプログラミングとリプログラミング電圧を信頼性高く達成するためのリレーを設計する方法は不明である。ここでは,プログラミングとリプログラミング電圧がデバイス寸法と表面接着力に基づいてどのように変化するかの詳細な理解を提供するために,回転NEMリレーの解析的,第一原理物理ベースモデルを開発した。次に,表面付着力を特性化するために,θ≧80≦550nmの臨界寸法を持つリレーの実験的パラメトリック研究を行い,NEMリレーが与えられた接触表面力,特徴サイズ制約および運転要求に対してどのように次元化すべきかのガイドラインを導いた。スケーリング研究を行い,このデバイスアーキテクチャを用いて,Δλ{2}≦μm{2}≦{2}の電圧が,Δσ{10}|nmの臨界次元で達成されることを示した。[2021-0138]Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
継電器・スイッチ  ,  固体デバイス製造技術一般 

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