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J-GLOBAL ID：202202233763364888   整理番号：22A0148593

二つの静電結合マイクロビームセンシング素子を持つモード局在MEMS加速度計の非線形動力学【JST・京大機械翻訳】

Nonlinear dynamics of mode-localized MEMS accelerometer with two electrostatically coupled microbeam sensing elements

著者 (9件)： Morozov N.F. (St.Petersburg University, Russian Federation) ,  Morozov N.F. (Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, Russian Federation) ,  Indeitsev D.A. (Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, Russian Federation) ,  Indeitsev D.A. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, Russian Federation) ,  Igumnova V.S. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, Russian Federation) ,  Lukin A.V. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, Russian Federation) ,  Popov I.A. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, Russian Federation) ,  Shtukin L.V. (Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, Russian Federation) ,  Shtukin L.V. (Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, Russian Federation)
資料名： International Journal of Non-Linear Mechanics  (International Journal of Non-Linear Mechanics)
巻： 138  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0727A  ISSN： 0020-7462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,2つの固定電極間に位置する2つのマイクロビームセンシング要素を有するマイクロ電気機械加速度計のモデルを提案した。縦方向の慣性力の作用はシステムのスペクトル特性に影響する。敏感な要素間の弱い静電結合の存在における系の動力学は,モード局在化の現象によって特性化され,印加加速における小さな変化を伴う相内および反位相振動の形に対する振幅比の大きな変化である。固定電極と可動要素の間の電位差と2つの可動要素の間で,平衡位置のダイアグラムを得た。慣性作用の大きさに対する固有ベクトルの成分と周波数の依存性を調べた。提案したセンサの振幅感度は周波数シフト感度よりも桁高いと結論した。外部高調波静電作動の場合,センサ非線形動力学の特異性を調べた。モード局所化現象の特性における主な差異を,システムのモーダル特性を記述する線形化モデルと非線形効果を考慮した操作の実際の動的モードを記述するモデルの間で明らかにした。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *加速度計 ,  電気機械 ,  非線形効果 ,  高調波 ,  慣性力 ,  位相 ,  センサ ,  周波数シフト ,  *非線形力学 ,  固有ベクトル ,  *MEMS
準シソーラス用語： 電位差 ,  局在化 ,  線形化 ,  *静電結合 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS共振加速度計 ,  弱結合系 ,  モード局在化 ,  モード移動

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電結合 ,  MEMS ,  加速度計 ,  非線形動力学