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J-GLOBAL ID：202202234596750482   整理番号：22A0767410

蛍光X線膜厚計-薄膜FP法によるnmスケールの膜厚測定事例紹介

著者 (1件)： 阿部海 (フィッシャー・インストルメンツ)
資料名： 分析展と講演・技術発表会講演要旨集
巻： 46th  ページ： 17-18  発行年： 2022年 
JST資料番号： L0949A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *厚み計 ,  *蛍光X線分析 ,  *膜厚 ,  事例研究 ,  めっき厚 ,  めっき皮膜 ,  金 ,  ニッケル化合物 ,  リン化物 ,  ニッケルめっき ,  *厚み測定 ,  *薄膜
準シソーラス用語： ファンダメンタルパラメター法 ,  リン化ニッケル ,  *蛍光X線厚さ計

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  めっき一般  (WC08021T) ,  非破壊試験  (HB02030F)

タイトルに関連する用語 (7件)： 蛍光X線 ,  膜厚計 ,  薄膜 ,  FP ,  NMスケール ,  膜厚測定 ,  事例紹介