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J-GLOBAL ID：202202234642054879   整理番号：22A0733047

コンビナトリアルマグネトロンスパッタリングにより作製したNb-B-C被覆の相形成,熱安定性および機械的性質【JST・京大機械翻訳】

Phase formation, thermal stability and mechanical properties of Nb-B-C coatings prepared by combinatorial magnetron sputtering

著者 (8件)： Debnarova S. (Department of Physical Electronics, Masaryk University, Kotlarska 2, CZ-61137 Brno, Czech Republic) ,  Soucek P. (Department of Physical Electronics, Masaryk University, Kotlarska 2, CZ-61137 Brno, Czech Republic) ,  Bursikova V. (Department of Physical Electronics, Masaryk University, Kotlarska 2, CZ-61137 Brno, Czech Republic) ,  Hans M. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Holzapfel D.M. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Mraz S. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Schneider J.M. (Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany) ,  Vasina P. (Department of Physical Electronics, Masaryk University, Kotlarska 2, CZ-61137 Brno, Czech Republic)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 433  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,コンビナトリアルマグネトロンスパッタリングを用いて,Nb-B-C皮膜を広い組成範囲で堆積した。これらの被覆の相形成,熱安定性および機械的性質をそれらの組成と堆積条件に関して調べた。研究した被覆は非晶質で,短範囲規則またはNb,NbCおよびNbB_2のような結晶相を示した。蒸着中のバイアスと加熱の利用によって達成された被覆へのより高いエネルギー流束は,より広い組成範囲にわたる結晶である被覆をもたらした。堆積後の被覆のアニーリングは,硬度および有効弾性率の増加と同様に,より高い結晶化度をもたらした。被覆の硬度は,焼鈍後35.0±0.6GPaまで,最大22.5±0.7GPaであった。有効弾性率は,焼鈍後,最大240±10GPa,最大31±7GPaであった。高いB含有量を有する被覆は,両方の場合に最も高い硬度と弾性率を示した。被覆粉末をNb_2BCターゲットをスパッタリングして調製し,示差走査熱量測定を用いて調べた。粉末は900°Cまでのアニーリングの前後で結晶性NbC相を示した。材料は研究した温度範囲でAr雰囲気中で安定であった。Ar+O_2混合物では,粉末はε>580°Cまで安定であった。この温度では,酸化反応が始まり,Nb_2O_5が生成した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *機械的性質 ,  酸化 ,  焼なまし ,  ターゲット ,  弾性係数 ,  粉体 ,  *被覆 ,  非晶質 ,  結晶度 ,  皮膜 ,  示差走査熱量測定 ,  蒸着 ,  堆積
準シソーラス用語： *相形成 ,  結晶相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Nb-B-C ,  塗料 ,  コンビナトリアルマグネトロンスパッタリング ,  保護塗料 ,  熱安定性 ,  機械的性質

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 作製 ,  Nb ,  C被覆 ,  相形成 ,  熱安定性 ,  機械的性質