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J-GLOBAL ID:202202235090180483   整理番号:22A0788493

アクティブ微細構造アレイに基づく薄膜圧電スピーカ【JST・京大機械翻訳】

A Thin-Film Piezoelectric Speaker Based On An Active Microstructure Array
著者 (3件):
資料名:
巻: 2022  号: MEMS  ページ: 852-855  発行年: 2022年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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自立圧電微細構造の高密度アレイの作動に基づく薄膜音響話者を報告した。真空と熱処理を用いて自己整合した方法で超薄ポリフッ化ビニリデン(PVDF)膜上に微細構造アレイをエンボスし,また,上部に穿孔した不動態層によって保護する。100cm2薄膜話者(81cm2活性面積)は,20V励起を用いて,5kHzと50cmの距離で75dBの音圧レベル(SPL)を達成した。その周波数応答は,微細構造設計のため,100kHz以下ではロールオフしない。この話者は,様々な表面に搭載でき,それによって,可聴および超音波周波数の両方で高感度に音響的にアクティブな表面をレンダリングし,これは,自立および湾曲設計に基づく事前PVDF話者に対するより広い応用展望を可能にする。この話者の簡単な構造,均一性能,およびスケーラブルな低コスト製作は,大規模アプリケーションのためのセル-エレクトレット話者よりも重要な利点を構成する。したがって,この薄膜話者は,能動雑音制御,ロボット,および仮想/増強現実のための新しい音響プラットフォームとして実行することができた。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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