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J-GLOBAL ID：202202235364356257   整理番号：22A0263645

完全封止ガス分析法の製品化

著者 (2件)： 岸川信介 (東京電子) ,  佐々木優直 (東京電子)
資料名： 真空ジャーナル  (Journal of Japan Vacuum Industry Association)
号： 179  ページ： 40-41  発行年： 2022年01月14日 
JST資料番号： L8030A  ISSN： 1883-1052  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・完全封止ガス分析法を採用したWATMASS-DAは,0.2%BeCuの真空構造材による超低ガス放出技術および極・超高真空排気の技術を組合わせたガス分析法を商品化。
・0.2%BeCu合金はステンレス鋼と比較して,低熱輻射率・高熱伝導率および,十分な機械的強度を有しているため,短時間の200~250°Cベーキングにより低ガス放出化が可能。
・MEMSなどの微小内容積の破壊分析や,ウェハーなどのサンプル表面からの極微小ガス放出の非破壊分析を1~2日で実現でき,また特に破壊分析では,ガス種,各分圧,内圧の測定も可能。

シソーラス用語： *ガス分析 ,  商品化 ,  *ベリリウム青銅 ,  ガス放出 ,  *真空装置 ,  高真空 ,  *超高真空 ,  熱放射率 ,  機械的強度 ,  MEMS ,  ウエハ【IC】 ,  *非破壊分析 ,  *分圧 ,  内圧
準シソーラス用語： ベーキング【焼成】 ,  *短時間 ,  伝導率 ,  破壊解析 ,  輻射率

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 封止 ,  ガス分析 ,  製品化