抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・プラズマ溶射技術を応用し,アルミナ・シリカ系材質の表面にジルコニアなどをコーティングをすることで低熱容量かつ耐反応性に優れた電子部品焼成用道具材プラテクトを紹介。
・プラテクトの基材には,軽量かつ耐熱性・耐熱衝撃性に優れたアルミナ・シリカ系材質を選択し,幅広いラインナップを準備。
・プラズマ溶射はフレーム温度が30000°Cに達し,高融点ジルコニアを溶かすことで,基材との接着強度が強く高品質なセラミック被膜の形成が可能。
・道具材の反り抑制による耐久性向上を目的に,基板裏面へ被覆するジルコニアの安定化率を低く設計し,熱処理後の変形量を評価した結果を報告。