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J-GLOBAL ID：202202235937532552   整理番号：22A0233158

六方晶Al_2O_3/TiO_2/窒化チタン/Auナノ多孔質アレイからなる高効率光電検出器の調製とキャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】

Preparation and characterization of a high-efficiency photoelectric detector composed of hexagonal Al₂O₃/TiO₂/TiN/Au nanoporous array

著者 (8件)： Elsayed Asmaa M. (Nanophotonics and Applications (NPA) Lab, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Elsayed Asmaa M. (TH-PPM Group, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Shaban Mohamed (Nanophotonics and Applications (NPA) Lab, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Shaban Mohamed (Department of Physics, Faculty of Science, Islamic University of Madinah, P. O. Box: 170, Al Madinah Almonawara, 42351, Saudi Arabia) ,  Aly Arafa H. (TH-PPM Group, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Ahmed Ashour M. (Nanophotonics and Applications (NPA) Lab, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Rabia Mohamed (Nanophotonics and Applications (NPA) Lab, Physics Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt) ,  Rabia Mohamed (Polymer Research Laboratory, Chemistry Department, Faculty of Science, Beni-Suef University, Beni-Suef, 62514, Egypt)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 139  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しいTiO_2/窒化チタン-ナノチューブ系光検出器の光感度はAuナノ粒子で被覆することによって改善される。多孔質酸化アルミニウムテンプレート(PAOT)を用いて,TiO_2/窒化チタンナノチューブを作製した。二段階陽極酸化法を用いて,Niインプリント法を用いてPAOTを製造した。原子層堆積とマグネトロンスパッタリングを用いてTiO_2/窒化チタン層を堆積した。X線回折,走査電子顕微鏡および反射/吸収光学分光法を用いて,PAOT/TiO_2/窒化チタンおよびPAOT/TiO_2/窒化チタン/Auを特性化した。320nmの細孔径と61nmの細孔間距離で,PAOTは,高秩序化六角形ナノ多孔性アレイを示した。PAOT/TiO_2への窒化チタンの堆積に続いて,PAOT/TiO_2のバンドギャップは3.1から2.2eVに減少し,可視光吸収の増加を示唆した。PAOT/TiO_2/窒化チタンとPAOT/TiO_2/窒化チタン/Au光検出器の光応答性値は390nmでほぼ同じ(453mAW-1)であった。Au被覆の有無で,636nmの光応答性値は392と438mAW-1であり,Vis/NIR範囲のかなりの増加を示唆した。さらに,光検出器の検出感度値はAu被覆後に増強され,光検出器の検出感度値はAu被覆前後の636nmで,それぞれ8.74×109と8.75×1012Jonesであった。一方,検出感度値は390nmの光検出器に対して8.86×1012Jonesであった。窒化チタンとAu層からの熱電子の結果として,構築した光検出器は非常に高い光電応答を持ち,広帯域光検出器として非常に有望である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  光検出器 ,  *金 ,  被覆 ,  陽極酸化処理 ,  酸化アルミニウム ,  可視光 ,  *六方晶系 ,  広帯域 ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  光応答 ,  金ナノ粒子 ,  *光電気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： TiO_2/窒化チタン ,  光検出器 ,  光強度 ,  検出性 ,  責任

分類 (3件)： 光化学一般  (CB08010U) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 六方晶 ,  窒化チタン ,  Au ,  ナノ多孔質 ,  アレイ ,  高効率 ,  光電検出器 ,  調製 ,  キャラクタリゼーション