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J-GLOBAL ID：202202236133566402   整理番号：22A0637888

ホモエピタキシャルAlN薄膜の高熱伝導率と超高熱境界コンダクタンス【JST・京大機械翻訳】

High thermal conductivity and ultrahigh thermal boundary conductance of homoepitaxial AlN thin films

著者 (6件)： Alvarez-Escalante Gustavo (Sibley School of Mechanical and Aerospace Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Page Ryan (Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Hu Renjiu (Sibley School of Mechanical and Aerospace Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Xing Huili Grace (Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Jena Debdeep (Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA) ,  Tian Zhiting (Sibley School of Mechanical and Aerospace Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA)
資料名： APL Materials (Web)  (APL Materials (Web))
巻： 10  号： 1  ページ： 011115-011115-6  発行年： 2022年 
JST資料番号： U7122A  ISSN： 2166-532X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウルツ鉱型窒化アルミニウム(AlN)は,その高い圧電性,超広帯域バンドギャップ,および大きな熱伝導率kのために,高出力および高温操作のためにますます注目を集めている。外来基板上のエピタキシャル成長AlNのkを調べた。しかし,ホモエピタキシャル成長AlNについて熱研究は行われなかった。本研究では,ホモエピタキシャルAlN薄膜の厚さ依存kおよび熱境界コンダクタンスGを,周波数領域熱反射の光学ポンププローブ法を用いて系統的に研究した。著者らの結果は,kが厚さと共に増加し,k値が200nm,500nm,および1μmの膜厚で報告された最高値であり,それぞれ71.95,152.04,および15.71W/(mK)の値であることを示した。第一原理計算は測定データと良好な一致を示した。注目すべきことに,エピ層と基板の間のGは,200nm,500nm,1μm,および3μmのサンプル厚さに対して,それぞれ328,477,1180,および2590MW/(m2K)の高い値を報告した。ホモエピタキシャルに成長したAlNの高いkと超高Gは,効率的な熱放散のために非常に有望であり,デバイス設計に役立ち,マイクロ電気機械システム,紫外フォトニクス,および高出力エレクトロニクスにおける高度な応用を有する。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エピタクシー ,  高温 ,  *熱伝導率 ,  熱放射 ,  *薄膜 ,  電子技術 ,  *窒化アルミニウム ,  熱反射 ,  広帯域 ,  *コンダクタンス ,  周波数領域
準シソーラス用語： フォトニクス ,  圧電特性 ,  第一原理計算 ,  エピタキシャル層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

タイトルに関連する用語 (8件)： ホモ ,  エピタキシャル ,  AlN ,  薄膜 ,  熱伝導率 ,  高熱 ,  境界 ,  コンダクタンス