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J-GLOBAL ID:202202236220189851   整理番号:22A1054083

熱成形エレクトロニクスにおける金属蛇行構造の面外変形低減のための技術開発【JST・京大機械翻訳】

Technological development for the reduction of out-of-plane deformation of metallic meander structures in thermoformed electronics
著者 (3件):
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巻: 119  号: 9-10  ページ: 6649-6663  発行年: 2022年 
JST資料番号: T0397A  ISSN: 0268-3768  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,元の蛇行形状にフラクタル構造を加え,最適化製作スタックを用いて,延伸金属相互接続における面外変形を除去する新しい方法を示した。熱成形エレクトロニクスでは,銅を導体として用いる場合,過度の機械的応力に起因する蛇行形状構造のねじりは,非均一表面,基板からの金属相互接続の剥離,およびいくつかの場合,短回路を隣接トラックに引き起こす。典型的には,伸縮性エレクトロニクスの設計者は,この問題に取り組むために,銅相互接続の様々な形状と幅を使用する。馬蹄とU形のような従来の蛇行形状の使用は,特に,延伸が30%以上の場合,大きな面外座屈に導く場合,普遍的に実用的ではない。最小幅が技術と伝導率の観点から必要とされるので,トラック幅を減らすことによってこの面外座屈を制限することは必ずしも適用できない。提示したアプローチは,多重蛇行形状および製作法の計算および実験研究によってヒントを得た。延伸中に金属トラックの製作トルクを収容するために,蛇行の経路長さを増加させることにより,ほぼ全ての可能な蛇行形状の機械的応力を低減する,形状および製作ベースのアプローチを提示した。最適蛇行パラメータを計算するための解析的手法を提供し,最適製作スタックをシミュレーション結果に基づいて達成した。事例研究のための実験と有限要素モデリングは,面外座屈の応力分布と減少の改善を示した。Copyright The Author(s) 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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著者キーワード (1件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  固体デバイス材料 
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