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J-GLOBAL ID：202202236534899517   整理番号：22A1210979

レーザ加工によるマイクロ流路内の微細連続ディンプル構造が流れに与える影響の基礎評価

Influence of Fine Continuous Dimple Structure on Flow in Microchannel by CO₂ Laser Processing

著者 (3件)： 北田良二 (崇城大) ,  高松優未 (崇城大) ,  天谷諭 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H98  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロリアクター等のマイクロ流路は,流路内の流れに影響を及ぼす流路形状が重要となる.そこで,合成石英ガラス基板上に,炭酸ガスレーザにより流路形状を制御したマイクロ流路形成を試みた.パルスレーザを走査した結果,微細連続ディンプルを有するマイクロ流路形成を確認した.本研究では,微細連続ディンプルがマイクロ流路内の流れに及ぼす影響について,純水内の蛍光ビーズの挙動により基礎評価したので報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： レーザ加工 ,  マイクロチャネル ,  *形態 ,  炭酸ガスレーザ ,  石英ガラス ,  *チャネル流 ,  粒状材 ,  形状制御 ,  *流動解析
準シソーラス用語： ディンプル ,  蛍光ビーズ ,  *流路形状

分類 (1件)： 管内流  (BC02090Q)

引用文献 (4件)：

• Minqiang Bu et al.: A new masking technology for deep glass etching and its microfluidic application, Sensors and Actuators A, Vol.115, No.2-3 (2004), pp.476-482.
• A. Ben Azouz et al.: Laser Processing of Quartz for Microfluidic Device Fabrication, Advanced Materials Research, Vol.445, (2012), pp.436-441.
• 髙松 ら:炭酸ガスレーザを用いた石英ガラス基板へのマイクロ流路加工における溝性状評価,2020年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,(2020), B1506, pp. 221-222.
• 髙松 ら:炭酸ガスレーザにより形成した微細連続ディンプルを有するマイクロ流路内の流れの基礎評価,2021年度精密工学会中国四国支部・九州支部共催岡山地方講演会講演論文集,(2021), 113, pp. 25-26.

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ加工 ,  マイクロ流路 ,  微細 ,  ディンプル ,  流れ ,  基礎 ,  評価