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J-GLOBAL ID：202202237532584252   整理番号：22A1063783

ヘリウムイオン注入により作製したオキシフッ化物ガラス中の光学一次元導波路【JST・京大機械翻訳】

Optical one-dimensional waveguides in oxyfluoride glass fabricated by Helium Ion implantation

著者 (10件)： Xing Shu-Dong (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Yin Hao-Yang (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Wang Tong (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Zhang Liao-Lin (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000, P. R. China) ,  Yue Qing-Yang (Shandong Provincial Engineering and Technical Center of Light Manipulations and Shandong Provincial Key Laboratory of Optics and Photonic Device, School of Physics and Electronics, Shandong Normal University, Jinan 250014, P. R. China) ,  Fu Li-Li (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Long Xue-Wen (Institute of Medical Physics, Medical School, Hunan University of Medicine, Huaihua, Hunan 418000, P. R. China) ,  Zheng Rui-Lin (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Liu Chun-Xiao (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, P. R. China) ,  Liu Chun-Xiao (Jiangsu Province Engineering Research Center for Fabrication and Application of Special Optical Fiber Materials and Devices, Nanjing 210023, P. R. China)
資料名： International Journal of Modern Physics B. Condensed Matter Physics, Statiscal Physics, Applied Physics  (International Journal of Modern Physics B. Condensed Matter Physics, Statiscal Physics, Applied Physics)
巻： 36  号： 3  ページ： 2250026  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0396A  ISSN： 0217-9792  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： シンガポール (SGP)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,オキシフッ化物ガラス(OFG)中のヘリウムイオン注入により一次元導波路を形成した。イオン注入のエネルギーとフルエンスはそれぞれ0.4MeVと[数式:原文を参照]であった。モードの有効屈折率を有するm線曲線をプリズム結合システムを用いて記録した。エネルギー損失分布と屈折率プロファイルを,それぞれ,イオン(SRIM)-2013とRCMの阻止と範囲によって計算した。端面結合システムによって,光モードプロファイルを測定した。He+イオン注入OFG導波路は集積フォトニックデバイスとして作用する可能性を有することを示唆した。Copyright 2022 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エネルギー損失 ,  屈折率 ,  分布 ,  *ヘリウム ,  プリズム ,  *イオン注入 ,  固体素子 ,  光導波路 ,  *一次元 ,  屈折率分布 ,  *導波路 ,  フルエンス
準シソーラス用語： フォトニックデバイス ,  オキシフッ化物ガラス ,  有効屈折率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： オキシフッ化物ガラス ,  光導波路 ,  イオン注入 ,  屈折率プロファイル

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ヘリウム ,  イオン注入 ,  作製 ,  オキシフッ化物ガラス ,  光学 ,  導波路