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J-GLOBAL ID:202202237592999184   整理番号:22A0491391

二モードプラズモンカラーフィルタは薄膜へのイオン注入の直接光学イメージングを可能にする【JST・京大機械翻訳】

Bimodal Plasmonic Color Filters Enable Direct Optical Imaging of Ion Implantation in Thin Films
著者 (3件):
資料名:
巻: 32  号:ページ: e2009419  発行年: 2022年 
JST資料番号: W1336A  ISSN: 1616-301X  CODEN: AFMDC6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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光学メタマテリアルは,ナノスケールでの光の特性と相互作用に対して正確な制御を提供し,化学および分子センシング,磁気アンテナ,および光起電素子を含む研究の多くの新しい分野で興味を引いている。異常な光透過(EOT)プラズモン素子の現象を利用することにより,材料の局所,表面近傍,誘電特性の微小変化の検出が可能になり,広範囲の異なる応用を広げた。超薄膜の光電子特性の特性化は集積回路生産を含む広範囲の電子応用にとって極めて重要である。しかし,従来のイメージング技術を用いて達成するのは,しばしば非常に難しい。ここでは,プラズモンカラーフィルタが薄膜中のイオン注入の直接光学イメージングと特性評価に使用できることを実証した。酸化チタン薄膜内に注入されたガリウムイオンの可変線量から成るモデル系を用いた。イオン注入線量は測定したプラズモン共鳴スペクトルに変化をもたらし,それは二峰性ナノピクセルアレイの使用によりさらに増強できる。モンテカルロシミュレーションとMaxwell-Garnett関係を用いて,ガリウムイオン注入線量に関する観測されたプラズモン共鳴スペクトルを定量的に解釈した。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体プラズマ 
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