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J-GLOBAL ID：202202237610113139   整理番号：22A0909795

高出力インパルスマグネトロンスパッタリング放電におけるアルゴン励起準位のポピュレーション密度について【JST・京大機械翻訳】

On the population density of the argon excited levels in a high power impulse magnetron sputtering discharge

著者 (8件)： Rudolph M. (Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany) ,  Revel A. (Laboratoire de Physique des Gaz et Plasmas-LPGP, UMR 8578 CNRS, Universite Paris-Saclay, 91405 Orsay Cedex, France) ,  Lundin D. (Laboratoire de Physique des Gaz et Plasmas-LPGP, UMR 8578 CNRS, Universite Paris-Saclay, 91405 Orsay Cedex, France) ,  Brenning N. (Plasma and Coatings Physics Division, IFM-Materials Physics, Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden) ,  Raadu M. A. (Space and Plasma Physics, School of Electrical Engineering and Computer Science, KTH Royal Institute of Technology, SE-100 44 Stockholm, Sweden) ,  Anders A. (Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany) ,  Minea T. M. (Laboratoire de Physique des Gaz et Plasmas-LPGP, UMR 8578 CNRS, Universite Paris-Saclay, 91405 Orsay Cedex, France) ,  Gudmundsson J. T. (Space and Plasma Physics, School of Electrical Engineering and Computer Science, KTH Royal Institute of Technology, SE-100 44 Stockholm, Sweden)
資料名： Physics of Plasmas  (Physics of Plasmas)
巻： 29  号： 2  ページ： 023506-023506-12  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0641B  ISSN： 1070-664X  CODEN： PHPAEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)放電におけるアルゴン原子の励起状態のポピュレーション密度を,大域的放電モデルと衝突放射モデルを用いて調べた。ここでは,イオン化領域モデル(IRM)とイオン化および励起状態動力学(OBELIX)モデルと結合した電子に対するOrsay Boltzmann方程式を組合せて,HiPIMS放電におけるアルゴン原子の励起準位のポピュレーション密度を得た。IRMは,HiPIMS放電の粒子およびエネルギー保存に基づく大域的プラズマ化学モデルである。OBELIXは衝突放射モデルであり,そこでは電子エネルギー分布が等方性Boltzmann方程式から自己無撞着的に計算される。衝突モデルは,アルゴン原子の65の個別および有効励起レベルを構成した。著者らは,p*が有効量子数である(p*)-6で,高位励起アルゴン状態の縮小した集団密度が,励起飽和と呼ばれる多段階 ladder子状励起スキームの存在を示すことを実証した。この理由は,無視できる電子-イオン再結合と組み合わせた高位アルゴン状態の母集団と脱ポピュレーションにおける電子衝撃過程の優位性である。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Boltzmann方程式 ,  イオン化 ,  原子 ,  プラズマ ,  電子衝突 ,  *放電 ,  *励起 ,  励起状態 ,  *アルゴン ,  動力学 ,  量子数 ,  等方性 ,  母集団
準シソーラス用語： 励起状態動力学 ,  衝突放射モデル ,  電子エネルギー分布 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  放電 ,  アルゴン ,  密度