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J-GLOBAL ID：202202237719381644   整理番号：22A1120179

染色エッチ多孔質シリコンに基づく室温NO_2ガスセンサ:シリコン上に集積した低コストガスセンサに向けて【JST・京大機械翻訳】

Room temperature NO₂ gas sensor based on stain-etched porous silicon: Towards a low-cost gas sensor integrated on silicon

著者 (8件)： Mhamdi H. (Laboratoire de Photovoltaieque, Centre de Recherches et des Technologies de l’Energie, Technopole de Borj-Cedria, BP, 95 Hammam-Lif, Tunis, Tunisie) ,  Mhamdi H. (Faculte des Sciences Mathematiques, Physiques et Naturelles de Tunis, Tunisie) ,  Azaiez K. (Laboratoire de Nanomateriaux et Systemes pour Energies Renouvelables, Centre de Recherches et des Technologies de l’Energie, Technopole de Borj-Cedria, BP, 95 Hammam-Lif, Tunis, Tunisie) ,  Fiorido T. (Aix Marseille Univ, Universite de Toulon, CNRS, IM2NP, Marseille, France) ,  Benabderrahmane Zaghouani R. (Laboratoire de Photovoltaieque, Centre de Recherches et des Technologies de l’Energie, Technopole de Borj-Cedria, BP, 95 Hammam-Lif, Tunis, Tunisie) ,  Lazzari J.L. (Aix Marseille Universite, CNRS, CINaM UMR 7325, Campus de Luminy, Case 913, 163, Avenue de Luminy, 13288 Marseille Cedex 09, France) ,  Bendahan M. (Aix Marseille Univ, Universite de Toulon, CNRS, IM2NP, Marseille, France) ,  Dimassi W. (Laboratoire de Nanomateriaux et Systemes pour Energies Renouvelables, Centre de Recherches et des Technologies de l’Energie, Technopole de Borj-Cedria, BP, 95 Hammam-Lif, Tunis, Tunisie)
資料名： Inorganic Chemistry Communications  (Inorganic Chemistry Communications)
巻： 139  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1585A  ISSN： 1387-7003  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,室温で低濃度のNO_2を検出するための多孔質シリコンに基づく新しい低コストガスセンサの使用を調べた。本研究では,簡単な化学的方法,すなわちナノ多孔性シリコン(ナノ-PS)とマクロ多孔質シリコン(マクロ-PS)で調製した2種類の多孔質シリコン(PS)のガス検知特性に焦点を当てた。調製したセンサを,異なる細孔径,厚さおよび多孔性によってキャラクタリゼーションした。合成した構造の電子特性をμPCD寿命試験機を用いて有効少数キャリア寿命を測定して調べた。PS試料の構造特性とモルフォロジーもFourier変換赤外(FTIR)分光法と走査電子顕微鏡(SEM)を用いて提示した。ナノPSとマクロPSのガス検知特性をNO_2ガスに対して室温で行った。マクロPSおよびナノPSセンサは,それらの形態の違いに起因する異なる挙動を示した。試験したセンサは,45秒までの応答時間において,NO_2の低濃度(4ppm)に対して,室温でかなりの感度を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Fourier変換 ,  *エッチング ,  赤外線 ,  走査電子顕微鏡 ,  寿命試験 ,  *ケイ素 ,  *染色 ,  *室温 ,  構造特性 ,  FTIR分光法 ,  モルフォロジー ,  *多孔質シリコン
準シソーラス用語： ナノポーラス ,  低濃度 ,  少数キャリア寿命 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ多孔質シリコン ,  マクロ多孔質シリコン ,  染色 ,  NO_2検出 ,  室温

分類 (1件)： 遷移金属元素(鉄族元素を除く)の錯体の結晶構造  (BK09030X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 染色 ,  エッチ ,  多孔質シリコン ,  室温 ,  ガスセンサ ,  シリコン ,  集積