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J-GLOBAL ID:202202237859908105   整理番号:22A0445317

ゾル-ゲル法で作製した誘電体多層膜の光学的研究【JST・京大機械翻訳】

Optical investigation on dielectric multilayers prepared by sol-gel method
著者 (2件):
資料名:
巻: 49  号: P7  ページ: 2858-2861  発行年: 2022年 
JST資料番号: W3531A  ISSN: 2214-7853  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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薄膜の挑戦的な光学性能は,選択した材料,代替層数(またはスタック),薄膜堆積法などに依存する。本論文では,ゾル-ゲル法とスピンコーティング法を用いて,シリコン基板上のTiO_2/SiO_2多層の交互積層の実験的研究を報告した。誘電反射器(TiO_2/SiO_2)の7(7S)と9スタック(9S)を調製し,UV-可視分光光度計とRaman分光法による反射率と関連官能基を調べた。紫外および可視スペクトル領域で,より高い反射率を示す積層数(9S)によって,より高いおよびより広いフォトニックバンドギャップ(PBG)を達成した。さらに,Ramanスペクトルは,シリコン(512cm-1),アナターゼ-TiO_2(Eg,144cm-1)およびSiO_2(410,487&919cm-1)の週バンドの存在を確認した。最後に,54.3%の相対反射率増強が,太陽電池における背面反射器として有用なスタックの最も高い数によって注目された。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜  ,  光物性一般 

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