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J-GLOBAL ID：202202238408772078   整理番号：22A0492519

窒素注入オーステナイトステンレス鋼を例とした深さ分解相分析のための方法としてのイオンビームスパッタリングとその場X線回折の組み合わせ【JST・京大機械翻訳】

A combination of ion beam sputtering and in situ x-ray diffraction as a method for depth-resolved phase analysis using nitrogen-implanted austenitic stainless steel as an example

著者 (3件)： Manova Darina (Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany) ,  Schlenz Patrick (Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany) ,  Maendl Stephan (Leibniz Institute of Surface Engineering (IOM), Permoserstrasse 15, 04318 Leipzig, Germany)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 131  号： 2  ページ： 025306-025306-16  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン注入または薄膜堆積中のin situ X線回折(XRD)は,深さ分解能がX線の情報深さによってまだ支配されるので,薄膜中の拡散と相転移過程の時間発展を追跡する強力な方法である。しかし,中程度の温度でエネルギーイオンによるスパッタエッチングの場合,拡散あるいは相変態過程が活性でない場合には,この限界はもはや懸念されない。ここでは,スパッタリングによって除去される薄い表面層を,25nmの深さ分解能で同定することができ,また,数マイクロメータの基板-安山岩被覆層から,より良い情報を得た。しかし,XRDで測定した回折図の時系列を深さ系列に変換するには,かなりの数学的操作が必要である。本論文では,モデルシステムオーステナイト系ステンレス鋼+窒素中のイオンビームスパッタリング中のこのようなその場測定を用いて,薄膜の深さ分解特性がどのようにアクセスできるかを記述する方法を強調した。(i)Bragg-Brentano形状における従来のXRD走査のピーク形状とピーク幅に対する濃度勾配の影響;(ii)局所窒素濃度と局所格子膨張の間の相関を確立することができた。および(iii)深さによる散乱強度の発展はアクセス可能になり,欠陥密度または粒径(表面に垂直な)に関する深さ分解情報は,透過または走査電子顕微鏡に頼ることなく抽出できる。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *X線回折 ,  *イオン ,  *回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  相転移 ,  薄膜 ,  *窒素 ,  イオン注入 ,  安山岩 ,  *イオンビームスパッタリング ,  イオンエッチング ,  時間発展 ,  欠陥密度 ,  *オーステナイト系ステンレス鋼
準シソーラス用語： 格子膨張 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  スパッタリング  (BK16110U) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 窒素 ,  注入 ,  オーステナイトステンレス鋼 ,  分解 ,  分析 ,  イオンビームスパッタリング ,  X線回折 ,  組み合わせ