文献

J-GLOBAL ID：202202238506604635   整理番号：22A0285309

半導体プロセスで活躍する計測技術・機器 半導体材料ガス漏洩監視のソリューション〈4成分マルチガス検知器GD-84D型によるコストダウン化〉

Solutions for monitoring semiconductor material gas leakage

著者 (1件)： 小菅哲 (理研計器)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 50  号： 1  ページ： 1-5  発行年： 2022年01月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・半導体工場向けガス検知警報器として,低コスト,高い機能性と信頼性ニーズに応える製品として昨年1月から販売開始した4成分マルチガス検知器GD-84Dを紹介。
・ガスセンサを最大4つ搭載できることで配管施行コストを1/4にでき,4台のガス検知器を1台にまとめた仕様のため電気配線および施行コストも1/4にコストダウン可能。
・新規開発の超小型次世代高機能センサ(Fセンサ)により使用期限警告,センサ劣化診断・電解液の液漏れ等バイタリティーの自己診断や寿命診断機能を実現。
・さらに独自開発した高機能デュアルポンプにより4つのセンサに長期的にガスを引き込むパワーや耐久性をもちながらダイヤフラムが相互に振動音を相殺することで騒音をキャンセルできる利点。
・ガス検知器がEthernet端末として機能し,最先端の半導体工場のIoT化やスマート化実現に貢献。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  半導体材料 ,  *ガス漏れ ,  *監視 ,  *ガス検出器 ,  原価低減 ,  配管 ,  配線 ,  建設費 ,  センサ ,  故障診断 ,  寿命診断 ,  ポンプ ,  Ethernet ,  ネットワーク
準シソーラス用語： デュアルポンプ ,  使用期限 ,  超小型センサ

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 半導体プロセス ,  計測技術 ,  半導体材料 ,  ガス漏洩 ,  ソリューション ,  マルチ ,  ガス検知器 ,  Gd ,  コストダウン化