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J-GLOBAL ID：202202238762163459   整理番号：22A0553336

DCBias電圧を用いたAlNベース圧電微細加工超音波変換器の同調特性【JST・京大機械翻訳】

Tuning Characteristics of AlN-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using DC Bias Voltage

著者 (6件)： Wu Zhipeng (Institute of Technological Sciences, Wuhan University, Wuhan, China) ,  Liu Wenjuan (Institute of Technological Sciences, Wuhan University, Wuhan, China) ,  Tong Zhihao (Shanghai Industrial μTechnology Research Institute, Shanghai, China) ,  Cai Yao (Institute of Technological Sciences, Wuhan University, Wuhan, China) ,  Sun Chengliang (Institute of Technological Sciences, Wuhan University, Wuhan, China) ,  Lou Liang (Shanghai Industrial μTechnology Research Institute, Shanghai, China)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 69  号： 2  ページ： 729-735  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,アルミニウムNitride(AlN)ベース圧電マイクロマシン超音波変換器(PMUT)の特性に対するdcバイアス電圧の影響を調べた。直流バイアス電圧をAlN圧電層に適用すると,素子応答の変化をもたらす制御可能な応力を生じる。バイアス電圧を-30から30Vに調整すると,実験結果はPMUTの特性において識別可能な改善を示した。最初に,共振周波数,-3dB帯域幅(BW),および品質因子のような特性はバイアス電圧に関してほぼ線形に変化する。第2に,共振周波数の温度ドリフトは,dcバイアス電圧によって補償されることが実験的に示された。第三に,リングダウン時間は非バイアス条件に比べて3.03%以上減少した。第4に,バイアスPMUTは,周波数ホッピング拡散スペクトル(FHSS)のような技術を通して,4.66kHzの有効周波数範囲をカバーすることができ,それは,非バイアス条件で,0.99kHzの有効周波数領域と比較して,370.71%の増加であった。これは,超音波通信のようなより有望な応用を提供する。この提案したdcバイアス電圧法は,温度ドリフトを補償し,リングダウン時間を低減し,PMUTの有効周波数範囲を拡大するための費用対効果の高い方法を実証した。dcバイアスAlN PMUTsは,超音波通信,レンジファインダ,および相対的高温応用に広く使用できる。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高温 ,  *電圧 ,  *超音波変換器 ,  *圧電気 ,  *同調 ,  スペクトル ,  直流 ,  帯域幅 ,  *窒化アルミニウム ,  バイアス ,  *微細加工 ,  共振周波数 ,  周波数領域
準シソーラス用語： 品質因子 ,  バイアス電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (5件)： AlN ,  圧電 ,  微細加工 ,  超音波変換器 ,  同調