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J-GLOBAL ID:202202239033635809   整理番号:22A1063809

質量検出のための結合マイクロメカニカル共振器【JST・京大機械翻訳】

Coupled micromechanical resonator for mass detection
著者 (5件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 2150601  発行年: 2022年 
JST資料番号: T0431A  ISSN: 0217-9849  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: シンガポール (SGP)  言語: 英語 (EN)
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2つの結合二重クランプビームから成る共振器を作製し,質量センサとして使用した。IP-L780フォトレジストで作られた5つの質量ブロックを,質量負荷として3Dマイクロプリント技術により各共振器ビーム上に印刷した。センサが検出できる最小質量は10ngと低かった。実験結果は,質量検出を行うとき,この共振器の非対称共振モードが対称モードより高いQ因子を有することを示した。質量センシングのための結合共振器の応答性は,58.5Hz/ngに達した。Copyright 2022 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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共振器 
タイトルに関連する用語 (2件):
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