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J-GLOBAL ID：202202239722349412   整理番号：22A1035007

潤滑MEMSにおける摩擦と摩耗【JST・京大機械翻訳】

Friction and Wear in Lubricated MEMS

著者 (3件)： Senft D. C. (Sandia National Laboratories) ,  Dugger M. T. (Sandia National Laboratories) ,  Smith B. K. (Sandia National Laboratories)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 123-125  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロマシン(SMM)摩擦試験装置を用いて,プラズマ蒸着疎水性,テフロン様膜の摩擦係数を測定した。84MPaの接触圧で,初期摩擦係数は0.13であり,4×105摩耗サイクル後に0.20に増加した。表面の摩耗をSEMによって定性的に特性化した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *潤滑 ,  表面 ,  摩擦係数 ,  *摩耗 ,  疎水性 ,  接触圧 ,  摩擦試験 ,  キャラクタリゼーション ,  プラズマCVD ,  マイクロマシン ,  *MEMS

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 潤滑 ,  MEMS ,  摩擦 ,  摩耗