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J-GLOBAL ID：202202240049412777   整理番号：22A1033288

高圧液体封止Czochralski結晶成長における熱-溶質輸送と偏析の機構【JST・京大機械翻訳】

Mechanism of Thermo-Solutal Transport and Segregation in High Pressure Liquid-Encapsulated Czochralski Crystal Growth

著者 (4件)： Zou Y. F. (State University of New York) ,  Wang G.-X. (State University of New York) ,  Zhang H. (State University of New York) ,  Prasad V. (State University of New York)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE97  ページ： 3-15  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高圧液体カプセル化Czochralski(HPLEC)成長III-V化合物結晶(例えばGaAs,InP)におけるドーパント輸送と偏析の機構を,統合モデルMASTRAPPを用いて数値的に研究した。成長過程の物理に基づいて,ドーパント輸送と成長を小さな時間スケールでシミュレートし,一方,流れと温度の解を準静的計算から得た。純粋結晶回転,純粋熱駆動自然対流,および純るつぼ回転の条件,および同時に存在するこれらの力の全てを有する混合流について,詳細な数値解析を行った。これらの場合におけるドーパント輸送と偏析は,対応するメルトフローパターンと良く相関した。非常に弱い半径方向偏析が,結果としてのメルトフローが,かなり平坦な溶質境界層をもたらすので,純粋な結晶回転に対して予測される。他方,自然対流はメルト/結晶界面に沿って不均一な境界層を生成する。これは,結晶の中心軸に沿って高濃度を有する強い半径方向偏析をもたらす。るつぼ回転は同様の効果を有した。これら全ての流れメカニズムの複合効果は強い半径方向偏析を生成し,その程度は駆動力の相対強度に依存する。結晶回転は半径方向偏析の抑制に役立つ。これらのケースの全てにおいて,強いメルトフローは薄い境界層をもたらし,その結果,縦方向の偏析が減少する。引き上げ速度も偏析に強い影響を及ぼし,結晶の成長が遅くなるほど効果が小さかった。一方,その値が低ければ,分配係数の変化の影響は弱い。予測は文献に報告されている実験観察と良く一致した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 境界層 ,  *結晶成長 ,  結晶粒界 ,  *高圧 ,  自然対流 ,  数値解析 ,  *偏析 ,  回転 ,  ヒ化ガリウム ,  流れ分布 ,  坩堝 ,  *溶質 ,  ドーパント ,  メルト
準シソーラス用語： 結晶回転 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  結晶成長技術・装置  (BK13020B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高圧 ,  液体封止 ,  結晶成長 ,  溶質輸送 ,  偏析