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J-GLOBAL ID：202202240680994927   整理番号：22A1186745

プラズマ計測のためのマイクロ波計測器開発

Development of Microwave Measurement Devices for Plasma Diagnostics

著者 (1件)： 桑原大介 (中部大 工)
資料名： 中部大学工学部紀要(Web)
巻： 57  ページ： 1-10 (WEB ONLY)  発行年： 2022年03月 
JST資料番号： U2003A  ISSN： 2187-7408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマは,核融合のための磁気閉じ込めプラズマ,電気推進プラズマおよび半導体製造におけるプロセスプラズマのように,科学および工学において広く使われている。しかし,電子密度や電子温度などのプラズマパラメータはついては,市販品での測定はほとんどなく,研究者は,自分自身の測定デバイスを製造する必要があるという負担がある。著者は,多くのマイクロ波とミリ波プラズマ測定装置を開発し,上記の様々な分野での使用を促進している。本論文では,30-110GHzの広い周波数領域で使用できるマイクロ波送信機と検出回路について述べた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *マイクロ波 ,  *計測器 ,  電子密度 ,  電子温度 ,  プラズマパラメータ ,  EHF波 ,  プラズマ診断
準シソーラス用語： ミリ波

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ計測 ,  マイクロ波 ,  計測器 ,  開発