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J-GLOBAL ID：202202241312734143   整理番号：22A0552126

フォトリソグラフィーとドライリフトオフパターニングによるフレキシブルな金属ハロゲン化物ペロブスカイト光検出器アレイ【JST・京大機械翻訳】

Flexible Metal Halide Perovskite Photodetector Arrays via Photolithography and Dry Lift-Off Patterning

著者 (17件)： Xia Benzheng (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Tu Min (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Tu Min (2020 X-Lab, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Tu Min (State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Pradhan Bapi (Molecular Visualization and Photonics, KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Ceyssens Frederik (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Ceyssens Frederik (Micro- and Nano Systems (MNS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Tietze Max Lutz (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Rubio-Gimenez Victor (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Wauteraerts Nathalie (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Gao Yujie (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Kraft Michael (Micro- and Nano Systems (MNS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Steele Julian A. (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Debroye Elke (Molecular Visualization and Photonics, KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Hofkens Johan (Molecular Visualization and Photonics, KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium) ,  Hofkens Johan (Department Bonn, Max Planck Institute for Polymer Research, Ackermannweg 10, 55128, Mainz, Germany) ,  Ameloot Rob (Centre for Membrane Separations, Adsorption, Catalysis, and Spectroscopy (cMACS), KU Leuven, 3001, Leuven, Belgium)
資料名： Advanced Engineering Materials  (Advanced Engineering Materials)
巻： 24  号： 1  ページ： e2100930  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2018A  ISSN： 1438-1656  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属ハライドペロブスカイトは,それらの強い可視光吸収と結果としての光電流のため,光検出器材料として注目を集めている。高分解能ペロブスカイトピクセルアレイを実現するための効率的な製作ルートの開発は,実用的なデバイスを可能にするために重要である。ここでは,5μmまでの分解能で,異なる基板上にヨウ化メチルアンモニウム鉛(MAPbI_3)ピクセルを作製する乾式リフトオフプロセスを報告した。従って,8×10光検出器アレイをガラスとフレキシブルポリエチレンテレフタレート(PET)上に作製した。これらのアレイは,320から760nmの広い波長範囲にわたる高感度光応答を示した。さらに,パリレン-C被覆層によってカプセル化されたとき,ガラス基板上の光検出器アレイは,周囲空気中で10日後に顕著な性能損失なしに顕著な空気安定性を示し,PET基板上のフレキシブル光検出器アレイは優れた曲げ耐性を示し,170回の曲げサイクル後にほぼ95%の応答を示した。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガラス ,  光電流 ,  *光検出器 ,  画素 ,  可視光 ,  アンモニウムイオン ,  *微細加工 ,  *光検出器アレイ ,  高分解能 ,  *フォトリソグラフィー ,  *パターン形成
準シソーラス用語： 光応答 ,  ガラス基板 ,  *リフトオフ ,  パリレンC ,  波長領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ドライリフトオフ ,  金属ハロゲン化物ペロブスカイト ,  光検出器 ,  フォトリソグラフィー

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (3件)： フォトリソグラフィー ,  金属ハロゲン化物ペロブスカイト ,  光検出器アレイ