文献

J-GLOBAL ID：202202241459677974   整理番号：22A0847838

自動寄生除去によるマイクロセンサとアクチュエータのための容量性読み出しシステム【JST・京大機械翻訳】

Capacitive Readout System for Micro Sensors and Actuators With Automatic Parasitic Cancellation

著者 (6件)： Li Yunjia (State Key Laboratory of Electrical Insulation and Power Equipment, School of Electrical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Dou Weitao (State Key Laboratory of Electrical Insulation and Power Equipment, School of Electrical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Yang Aijun (State Key Laboratory of Electrical Insulation and Power Equipment, School of Electrical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Zhang Yong (State Key Laboratory of Electrical Insulation and Power Equipment, School of Electrical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Tao Kai (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China) ,  Qiao Dayong (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, China)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 71  ページ： ROMBUNNO.2000610.1-10  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,自動寄生容量消去機能を有する容量読出しシステムを設計し,実装した。読出しシステムは,ボードレベルで離散成分によって実行される。PI制御器を用いて,ディジタルプログラマブルキャパシタを寄生容量に整合させることにより,寄生除去を実現した。標準セラミックキャパシタとMEMSマイクロミラーデバイスを用いて読み出しシステムの機能を検証した。セラミックキャパシタの35pFまでの容量測定を行い,回路の測定結果とLCRメータの間の最大誤差は0.07pFであった。MEMSマイクロミラーでは,回路は32.63pFの寄生容量を打ち消し,0.06pF以内の測定誤差を実現した。提案したシステムは,MEMSセンサとアクチュエータのための一般的寄生除去法の実現可能性を示す概念実証プラットフォームとして使用できる。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： コンデンサ ,  標準 ,  測定誤差 ,  磁器コンデンサ ,  回路 ,  アクチュエータ ,  漂遊容量 ,  ディジタル方式 ,  *センサ ,  *MEMS
準シソーラス用語： マイクロミラー ,  *マイクロセンサ ,  PI制御 ,  MEMSセンサ ,  *読出し ,  LCRメータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 寄生 ,  マイクロセンサ ,  アクチュエータ ,  容量性 ,  読み出し