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J-GLOBAL ID:202202243292231901   整理番号:22A0200830

ウィズコロナ時代のめっき・表面処理技術と産学連携 TGVガラスへのCu湿式めっき

著者 (2件):
資料名:
巻: 70  号:ページ: 86-89  発行年: 2022年02月01日 
JST資料番号: F0172A  ISSN: 0452-2834  CODEN: KZAIA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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・ガラス基板の表面平滑性を維持したまま密着性に優れた実用レベルの金属皮膜形成法について紹介。
・ガラス基板の高い絶縁性や低い伝送損失といった特徴から5G対応のRF部品やアンテナ,オプトデバイスの基板として優れるが,密着性に優れた金属皮膜形成が課題。
・基板洗浄と触媒均一付与と無電解銅めっき後の電気銅めっきによって,TGV(貫通孔付きガラス基板)の均一で密着性に優れた被膜が作製可能。
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  無電解めっき 

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