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J-GLOBAL ID:202202243356529200   整理番号:22A0445012

Ne/Xe/HCl混合ガスのプラズマ特性:パラメトリック研究【JST・京大機械翻訳】

Plasma characteristics in Ne/Xe/HCl gas mixtures: A parametric study
著者 (4件):
資料名:
巻: 49  号: P4  ページ: 970-975  発行年: 2022年 
JST資料番号: W3531A  ISSN: 2214-7853  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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エキシプレックス分子の重要なクラスはキセノン(XeCl)のモノクロリドのような希ガスハライド(RgH)から成る。このエキサイマは308nmの波長で約eVのエネルギーで光子を放出する。本研究では,Ne/Xe/HCl混合ガス中のエキシマ放電プラズマの特性に対する外部回路パラメータと全ガス圧力の影響を調べた。数値研究は,電気回路,活性媒質における速度過程,および電子Boltzmann方程式を考慮したゼロ次元モデルを用いて行った。静電容量,インダクタンス,充電電圧,およびガス圧の増加値が放電プラズマ挙動に大きく影響することを見出した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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気体放電 

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