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J-GLOBAL ID：202202243387347554   整理番号：22A0100976

広いスペクトル応答を有する紫外可視光検出器用のバンドギャップ調整可能なAl_1-xIn_xN膜【JST・京大機械翻訳】

Bandgap tunable Al_1-x In _x N films for ultraviolet-visible photodetectors with wide spectral response

著者 (7件)： Chen Jianjin (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Shen Longhai (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Qi Dongli (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Wu Lijun (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Li Xiang (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Song Jianyu (School of Science, Shenyang Ligong University, Shenyang, 110159, China) ,  Zhang Xinglai (Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences, No. 72 Wenhua Road, Shenyang, 110016, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 48  号： 2  ページ： 2802-2810  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al_1-xIn_xN膜は,バンドギャップを広い範囲で調整することを可能にし,特に紫外-可視および波長選択的光検出において,オプトエレクトロニクス応用に対して魅力的である。ここでは,調整可能なバンドギャップを有する単相Al_1-xIn_xN膜を,十分に設計された高周波(RF)マグネトロンスパッタリング法により合成した。AlターゲットにInシートを配置することにより,Al_1-xIn_xN膜のAlとIn組成を,ターゲット上のRF電力を変えるだけで制御できた。RF電力を100から300Wに増加させると,Al_1-xIn_xN膜のIn組成(x値)は0.94から0.34に調整できた。従って,バンドギャップは2.20から2.95eVに調整される。重要なことに,Al_1-xIn_xN膜の光応答波長は,x値を上げると,UVから可視光まで広がった。Al_1-xIn_xN膜光検出器の光応答性は,365nm,532nm,および650nm照明の下で,それぞれ0.0124mA/W(x=0.34),0.118mA/W(x=0.52),0.126mA/W(x=0.67)であった。対応する応答時間は,それぞれ2.37秒,1.98秒および1.39秒であった。本研究で提案したAl_1-xIn_xN膜の合成戦略は,半導体バンドギャップ調整と光電子デバイスの波長選択検出に対する刺激的な機会を開くであろう。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体 ,  *光検出器 ,  照明 ,  *アルミニウム ,  *インジウム ,  波長 ,  HF【周波数】 ,  *可視光 ,  オプトエレクトロニクス ,  *光検出 ,  単相 ,  *バンドギャップ
準シソーラス用語： *スペクトル応答 ,  光応答 ,  光電子デバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Al_1.xIn_xN膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  調整可能なバンドギャップ ,  光検出器

分類 (3件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

タイトルに関連する用語 (5件)： スペクトル応答 ,  可視光 ,  検出器 ,  バンド ,  ギャップ調整