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J-GLOBAL ID:202202243528443762   整理番号:22A0233686

高性能蒸気チェンバ用のナノ秒レーザ表面テクスチャリングにより作製した二重スケール多孔質/溝微細構造【JST・京大機械翻訳】

Dual-scale porous/grooved microstructures prepared by nanosecond laser surface texturing for high-performance vapor chambers
著者 (11件):
資料名:
巻: 73  ページ: 914-923  発行年: 2022年 
JST資料番号: W3312A  ISSN: 1526-6125  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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蒸気チャンバ(VC)は,高出力チップと発光ダイオードの冷却のような高熱流束用途に広く使用されている2次元で熱を拡散するために使用される2相デバイスである。VC内部のウィックは,焼結金属粉末または繊維によって一般的に調製されるデバイス性能に大きく影響する。ここでは,ナノ秒レーザ表面テクスチャリングにより銅基板上にウィック構造を直接調製し,作製したVCの熱性能を調べた。ナノ秒レーザ表面テクスチャリングにより,銅基板上に3.5のアスペクト比を有する,θ≦68%の多孔性と深いV形マイクロ溝を有する二重スケール多孔質構造の両方を作製することができることを見出した。前者は高い毛細管ポンピング圧力を示し,後者は高い透過性を示した。ウィックとして最適構造を採用するとき,調製した2mm厚さのVCは,120Wの熱負荷の下で,0.137°C/Wの最小熱抵抗を示した。著者らの結果は,焼結プロセスを避け,超薄VCの製造に使用できる,高性能VCで使用されるウィック構造を調製するための新しい技術を提供する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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熱交換器,冷却器 

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