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J-GLOBAL ID：202202243749925645   整理番号：22A1149871

カーボン材料への低温プラズマ利用に関する最新研究事情と今後の展望 5.プラズマによるDLCコーティングの現状と将来展望

5. Current Status and Future Prospects of DLC Coating by Plasma

著者 (2件)： 上坂裕之 (岐阜大) ,  太田貴之 (名城大)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 98  号： 4  ページ： 171-175  発行年： 2022年04月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC(Diamond-Like Carbon)は硬質なアモルファスカーボンの総称である.様々なしゅう動環境において優れた摩擦特性や耐摩耗性を示すことから,主として機械的な負荷を受ける表面の保護膜としてその産業応用が拡大してきた.近年では,機械産業分野以外へのDLCの適用も拡大しつつある.本章では,プラズマをベースとするPVD/CVD技術によるDLCコーティングの最新動向と将来展望について紹介する.(著者抄録)

シソーラス用語： *被覆層 ,  プラズマ処理 ,  *プラズマCVD ,  *物理蒸着 ,  *炭素材 ,  マグネトロンスパッタリング ,  出力 ,  硬質材料 ,  *アーク放電 ,  *構成 ,  グロー放電 ,  マイクロ波放電 ,  *プラズマ源 ,  アルキン ,  アルカン
準シソーラス用語： *DLC被覆 ,  *PVD ,  *アモルファスカーボン ,  高出力 ,  高出力マグネトロンスパッタリング ,  *成膜

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  メタン

引用文献 (49件)：

• J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R-Rep. 37, 129 (2002).
• 池永 勝:高機能化のためのDLC成膜技術(日刊工業新聞社,2007).
• 大原久典:トライボロジスト 58, 545 (2013).
• A.C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 61, 14095(2000).
• 須田善行 他:プラズマ・核融合学会誌 88, 629 (2012).

タイトルに関連する用語 (9件)： カーボン材料 ,  低温プラズマ ,  研究 ,  展望 ,  プラズマ ,  DLC ,  コーティング ,  現状 ,  将来展望