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J-GLOBAL ID：202202244090385396   整理番号：22A1215676

低カットタンタル酸リチウムを用いたSAW共振器における横エネルギー閉込めと共鳴抑制

Transverse energy confinement and resonance suppression in SAW resonators using low-cut lithium tantalate

著者 (7件)： He Yiwen ( School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, People’s Republic of China) ,  Wong Yu-Po ( Graduate School of Engineering, Chiba University, Chiba 263-8522, Japan) ,  Liang Qi ( School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, People’s Republic of China) ,  Wu Ting ( School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, People’s Republic of China) ,  Bao Jingfu ( School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, People’s Republic of China) ,  Hashimoto Ken-ya ( School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, People’s Republic of China) ,  Hashimoto Ken-ya ( Graduate School of Engineering, Chiba University, Chiba 263-8522, Japan)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics (Web)  (Japanese Journal of Applied Physics (Web))
巻： 61  号： SG  ページ： SG1031 (5pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： G0520C  ISSN： 1347-4065  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 概要:本論文では,多層構造で低カットのタンタル酸リチウム(LT)を用いた弾性表面波(SAW)デバイスへのダブルバスバー設計の適用性を議論する。この設計は,広い周波数範囲において,良好なエネルギー閉じ込め,散乱損失抑制,横モード抑制を実現した。さらに,横モード抑制のためのスローネスカーブ形状の操作の有効性を実証した。まず,低カットLT上の層状SAW構成に3種類の横方向エッジデザインを適用し,階層カスケード技術でパワーアップした周期的3次元有限要素法を用いてその性能を比較した。次に,横モードの抑制に対するSAWスローネス形状の影響について議論を展開した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *タンタル酸リチウム ,  *共振器 ,  *閉込め ,  共鳴 ,  多層構造 ,  弾性表面波 ,  横モード ,  有限要素法
準シソーラス用語： *SAW共振器 ,  *エネルギー閉込め ,  三次元有限要素法

著者キーワード (4件)： 二重母線 ,  SAW ,  タンタル酸リチウム ,  スローネス

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (4件)： タンタル酸リチウム ,  SAW共振器 ,  エネルギー閉込め ,  共鳴