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J-GLOBAL ID：202202244225728161   整理番号：22A1155038

密閉反応器システムにおけるブタンプラズマ重合への発光ガス相の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of the Luminous Gas Phase into Butane Plasma Polymerization in a Closed Reactor System

著者 (3件)： Huang Yin-Che (Department of Chemical Engineering and Materials Science, Yuan Ze University, Chung-Li, Taiwan) ,  Yu Qingsong (Department of Mechanical Engineering, University of Missouri-Columbia, Columbia, MO, United States) ,  Huang Chun (Department of Chemical Engineering and Materials Science, Yuan Ze University, Chung-Li, Taiwan)
資料名： High Energy Chemistry  (High Energy Chemistry)
巻： 56  号： 2  ページ： 122-130  発行年： 2022年 
JST資料番号： W4415A  ISSN： 0018-1439  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,密閉高周波プラズマ反応器システムにおけるブタンのプラズマ重合プロセスを研究した。発光気相の発光スペクトルは,プラズマ系の主なプラズマ化学種が,CHとH(Balmer系列)のラジカル種であった。ブタンプラズマ重合プロセスの初期段階において,解離グロー(カソードグロー)は,系中のCHラジカルのアベイラビリティにより観測されたはるかに高い堆積速度を有する一次グローであった。プラズマプロセスの後期段階では,発光プラズマ相のOESスペクトルによって確認されるように,負のグローが支配し,プラズマ蒸着速度が著しく減少し,CHラジカルを形成する膜の消耗により最終的に停止した。結果は,放電中の解離グローがプラズマ高分子膜堆積のための炭化水素種を生成することを示した。Copyright Pleiades Publishing, Ltd. 2022. ISSN 0018-1439, High Energy Chemistry, 2022, Vol. 56, No. 2, pp. 122-130. Copyright Pleiades Publishing, Ltd., 2022. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： グロー放電 ,  *プラズマ ,  *発光 ,  発光スペクトル ,  ラジカル ,  炭化水素 ,  *反応器 ,  堆積速度 ,  アベイラビリティ ,  *気相 ,  高分子膜 ,  プラズマCVD ,  *プラズマ重合 ,  プラズマ処理 ,  アルカン

著者キーワード (4件)： グロー放電 ,  プラズマ重合 ,  密閉反応器システム ,  発光

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： ブタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 密閉 ,  反応器 ,  ブタン ,  プラズマ重合 ,  ガス相