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J-GLOBAL ID：202202244427917753   整理番号：22A0948533

前駆体安定化ガリウム亜鉛酸化物薄膜の光学および光ルミネセンス研究【JST・京大機械翻訳】

Optical and photoluminescence studies of precursor stabilized gallium zinc oxide thin films

著者 (6件)： Ganesh V.N. (Department of Electronics & Communication Engineering, Mangalore Institute of Technology & Engineering (MITE), Moodabidri 574225, India) ,  Swathi (Department of PG Studies in Physics, Alva’s College, Moodabidri, Karnataka 574227, India) ,  Jayarama A. (Department of Physics, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodabidri, Karnataka 574225, India) ,  Bhat Shashidhara (Department of PG Studies in Physics, Alva’s College, Moodabidri, Karnataka 574227, India) ,  Rai C. Shantharama (Department of Electronics and Communication Engineering, AJ Institute of Engineering and Technology, Mangaluru, Karnataka 575006, India) ,  Pinto Richard (Department of Electronics and Communication Engineering, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodabidri 574225, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 55  号： P1  ページ： 174-178  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 前駆体安定化ガリウムドープZnO薄膜をガラス基板上に噴霧熱分解を用いて成長させた。UV-vis分光法とX線回折計を用いてGZO薄膜を特性化した。ガリウムを1at%から4at%の範囲の濃度でドープし,構造的および光学的特徴に及ぼすその影響を研究した。XRD研究は薄膜が六方晶ウルツ鉱型構造の多結晶であることを明らかにした。波長(400~800nm)の可視領域において,全てのGZO膜は90%以上の平均透過率を示し,UV領域で顕著な吸収端を示した。PL発光スペクトルは,約389nmの近バンド端発光を示し,約545nmの酸素欠陥状態からの強い深準位発光がすべての膜で観察された。Ga濃度の増加に伴い,これらの2つのバンドの強度は減少した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  光学的性質 ,  *薄膜 ,  発光 ,  発光スペクトル ,  *光ルミネセンス ,  *亜鉛 ,  *ガリウム ,  X線回折分析 ,  多結晶 ,  ドーピング ,  六方晶系 ,  透過率 ,  *前駆体 ,  深い準位
準シソーラス用語： 可視領域 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： GZO薄膜 ,  噴霧熱分解 ,  光ルミネセンス

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 前駆体 ,  安定化 ,  ガリウム ,  亜鉛酸化物 ,  薄膜 ,  光学 ,  光ルミネセンス ,  研究