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J-GLOBAL ID：202202244528751133   整理番号：22A0959515

薄膜アモルファスシリコンフォトダイオード上の多重スペクトル光干渉フィルタアレイのモノリシック集積【JST・京大機械翻訳】

Monolithic Integration of Multi-Spectral Optical Interference Filter Array on Thin Film Amorphous Silicon Photodiodes

著者 (6件)： Nikolaidou Katerina (INESC Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Oliveira Hugo M. (International Iberian Nanotechnology Laboratory, Braga, Portugal) ,  Cardoso Susana (INESC Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Freitas Paulo P. (Department of Physics, Instituto Superior Te ́cnico, Lisbon, Portugal) ,  Chu Virginia (INESC Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal) ,  Conde Joao Pedro (INESC Microsistemas e Nanotecnologias, Lisbon, Portugal)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 22  号： 6  ページ： 5636-5643  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学フィルタと組み合わせた水素化非晶質シリコン薄膜光検出器は,蛍光に基づく生物学的検出応用に日常的に使用されている。光検出器へのこれらのフィルタのモノリシック統合は,さらにシステムの携帯性と単純性を高める。しかし,このような用途で使用される多数の発蛍光団のため,システムの応用の容易さと携帯性を高めるために,単一チップに複数のフィルタを組み合わせることがしばしば必要である。本研究では,正確な多層干渉フィルタを製作するための異なるタイプの堆積技法の有益な特性を利用する革新的方法論において,4つのフォトダイオードを持つチップに複数のフィルタを統合する新しい容易な技術を報告する。異なる厚みのイオンビーム蒸着MgO層をリフトオフにより連続的にパターン化し,プラズマ増強化学蒸着により堆積した2つの標準誘電体ミラー間に挟み,フィルタアレイを作製した。ブドウの成熟モニタリングで利用される2つの異なる波長でのブドウ蛍光の蛍光測定によって,デバイスの成功した統合を実証した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 蛍光 ,  *薄膜 ,  光検出器 ,  *フォトダイオード ,  誘電体 ,  ブドウ ,  光学フィルタ ,  水素化 ,  波長 ,  非晶質 ,  *干渉フィルタ ,  プラズマCVD ,  パターン形成
準シソーラス用語： 発蛍光団 ,  リフトオフ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光導電素子  (NC03083X) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 薄膜 ,  アモルファスシリコン ,  フォトダイオード ,  多重スペクトル ,  光干渉 ,  アレイ ,  モノリシック集積