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J-GLOBAL ID：202202244870916139   整理番号：22A1114893

RFマグネトロンスパッタリング法により堆積した(W,Zr)B_2-z被覆の熱的及び機械的性質【JST・京大機械翻訳】

Thermal and mechanical properties of (W,Zr)B_2-z coatings deposited by RF magnetron sputtering method

著者 (9件)： Moscicki Tomasz (Institute of Fundamental Technological Research, Polish Academy of Sciences, Pawinskiego 5B, 02-106 Warsaw, Poland) ,  Chrzanowska-Gizynska Justyna (Institute of Fundamental Technological Research, Polish Academy of Sciences, Pawinskiego 5B, 02-106 Warsaw, Poland) ,  Psiuk Rafal (Institute of Fundamental Technological Research, Polish Academy of Sciences, Pawinskiego 5B, 02-106 Warsaw, Poland) ,  Denis Piotr (Institute of Fundamental Technological Research, Polish Academy of Sciences, Pawinskiego 5B, 02-106 Warsaw, Poland) ,  Mulewska K. (NOMATEN Centre of Excellence, National Centre for Nuclear Research, ul. A. Soltana 7, 05-400 Otwock, Poland) ,  Kurpaska Lukasz (NOMATEN Centre of Excellence, National Centre for Nuclear Research, ul. A. Soltana 7, 05-400 Otwock, Poland) ,  Chmielewski Marcin (Lukasiewicz Research Network, Institute of Microelectronics and Photonics, Center of Electronic Materials Technology, 133 Wolczynska Str, 01-919 Warsaw, Poland) ,  Wisniewska Maria (Lukasiewicz Research Network - Poznan Institute of Technology, 6 Ewarysta Estkowskiego St., 61-755 Poznan, Poland) ,  Garbiec Dariusz (Lukasiewicz Research Network - Poznan Institute of Technology, 6 Ewarysta Estkowskiego St., 61-755 Poznan, Poland)
資料名： International Journal of Refractory Metals & Hard Materials  (International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 105  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0059B  ISSN： 0263-4368  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 8,11および16at.%ジルコニウムをドープしたマグネトロンスパッタWB_2コーティングを,4,7および10mNの負荷の下で,エネルギー分散分光,X線回折およびナノインデンテーションを用いて分析した。これらの被覆はα-AlB_2とω-W_2B_5プロトタイプ構造に結晶化することが観察された。これは,ω-W_2B_5相の増加を引き起こすジルコニウム量の増加である。すべての堆積被覆は,約45GPaの硬度を持ち,一方,Young率は,ジルコニウム含有量の増加に伴い,497から480GPaに低下した。16at%のジルコニウムをドープしない被覆を650°Cでアニールし,最大温度600°Cと圧縮空気による冷却を用いて繰返し熱負荷に供した。ジルコニウムの添加は被覆相安定性を改善することが観察された。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  Young率 ,  *機械的性質 ,  結晶化 ,  焼なまし ,  ジルコニウム ,  *被覆 ,  酸化ジルコニウム ,  ドーピング ,  ホウ化処理 ,  圧縮空気 ,  熱負荷 ,  最高気温 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： *RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 超硬コーティング ,  二ほう化タングステン ,  ジルコニアドーピング ,  マグネトロンスパッタリング ,  サイクリング熱負荷 ,  アニーリング

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  Zr ,  機械的性質