文献

J-GLOBAL ID：202202245171961564   整理番号：22A0645259

プラズマ照射下でのタングステン表面上の浸炭層形成の温度依存性の研究【JST・京大機械翻訳】

Study of the temperature dependence of a carbidized layer formation on the tungsten surface under plasma irradiation

著者 (9件)： Baklanov Victor (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Zhanbolatova Gainiya (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Skakov Mazhyn (National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Miniyazov Arman (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Sokolov Igor (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Tulenbergenov Timur (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Kozhakhmetov Yernat (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Bukina Olga (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan) ,  Orazgaliev Nurkhat (Institute of Atomic Energy Branch of National Nuclear Center of the Republic of Kazakhstan, Kurchatov, Republic of Kazakhstan)
資料名： Materials Research Express  (Materials Research Express)
巻： 9  号： 1  ページ： 016403 (8pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5570A  ISSN： 2053-1591  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ビームプラズマ放電(BPD)を用いたタングステン表面浸炭の方法を考察し,プラズマビームインストール(PBI)に実装した。この方法の利点は,熱核設備で可能なものと同様に化学反応と物理プロセスのための条件を作成することである。BPDは,異なる作動ガスを用いてプラズマを生成することを可能にする。メタンをプラズマ形成ガスとして使用した。チャンバ内の作動ガス圧力は(1,3-1,4)10-1Paであった。プラズマ照射下のタングステン表面上の浸炭層形成の温度依存性を700°C~1700°Cの温度範囲で測定した。表面層における炭化タングステンの形成をSEMとX線回折分析によって確認した。広い温度範囲でのタングステンとメタン間の相互作用は,炭化物相W_2CとWCの同時または逐次形成で進行することが分かった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 気体 ,  *プラズマ ,  相互作用 ,  化学反応 ,  *タングステン ,  炭化物 ,  表層 ,  X線回折分析 ,  *温度依存性 ,  炭化タングステン ,  ビームプラズマ放電 ,  *プラズマ曝露 ,  アルカン
準シソーラス用語： 温度範囲 ,  チャンバ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  核融合装置  (BJ02083Z)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ照射 ,  タングステン ,  浸炭層 ,  温度依存性 ,  研究