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J-GLOBAL ID：202202245504774242   整理番号：22A0943633

インジウム-すず-酸化物透明導電膜の光照射支援低温溶液合成【JST・京大機械翻訳】

Lightwave irradiation-assisted low-temperature solution synthesis of indium-tin-oxide transparent conductive films

著者 (6件)： Ruan Cheng (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials, Ministry of Education, Shandong University, Jinan, 250061, China) ,  Sun Qiang (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials, Ministry of Education, Shandong University, Jinan, 250061, China) ,  Xiao Dongjie (Department of Material and Engineering, Qilu University of Technology, Shandong Academy of Sciences, Jinan, 250353, China) ,  Li Hangyu (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials, Ministry of Education, Shandong University, Jinan, 250061, China) ,  Xia Guodong (Department of Material and Engineering, Qilu University of Technology, Shandong Academy of Sciences, Jinan, 250353, China) ,  Wang Sumei (Key Laboratory for Liquid-Solid Structural Evolution and Processing of Materials, Ministry of Education, Shandong University, Jinan, 250061, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 48  号： 9  ページ： 12317-12323  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化物(TCO)膜は多くの分野で重要な用途を有する。残念なことに,TCOは,通常,真空と高温法を用いて製造され,低コストフレキシブルデバイスへの応用を妨げる。本論文では,高品質のTCO膜を作製するのに使用できる容易な低温ゾル-ゲル法について述べた。本研究では,典型的な例として酸化インジウムスズ(ITO)を用いた光波(LW)照射(~280°C)を用いた。異なるLW照射条件について,ITO膜の構造と重要な特性の両方を調べた。ITOはLW照射により5分の短い期間後に形成される。さらに,LW照射はM-O骨格の形成を促進し,Cl不純物を効果的に除去し,約280°Cの低い温度でヒドロキシル酸素欠陥の除去を促進することが分かった。最適ITO膜は,低いシート抵抗(14.5Ω/sq)と高い伝導率(1.7×103Scm-1)を含む優れた電子特性を示した。さらに,ITO膜は高い透過率(87%以上)を示した。全体として,著者らのITO膜は1.72×10-2Ω-1の性能指数(FOM)を有し,これは従来の真空および高温法を用いて生成した以前のITO膜に匹敵する(またはそれ以上)。著者らのLW照射法は,非常に低コストで高性能のTCO膜を製造する簡単で効果的なアプローチを提供する。これは,これらの膜が手頃なフレキシブル大面積デバイスに使用できることを意味する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  高温 ,  *低温 ,  不純物 ,  塩素 ,  *酸化物 ,  *光照射 ,  透過率 ,  ゾル-ゲル法 ,  シート抵抗 ,  酸化インジウムスズ ,  *透明導電膜
準シソーラス用語： 透明導電性酸化物 ,  酸素欠陥 ,  フレキシブルデバイス ,  伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 透明導電性酸化物 ,  透過率 ,  電気伝導率 ,  薄膜 ,  低温溶液法

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (8件)： インジウム ,  すず ,  酸化物 ,  透明導電膜 ,  光照射 ,  支援 ,  低温 ,  溶液