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J-GLOBAL ID：202202245519080151   整理番号：22A0438713

室温で変調された応答を有する高感度NO_2センサとしての垂直チャネル金属酸化物クラスタ【JST・京大機械翻訳】

Vertical channel metal-oxide clusters as sensitive NO₂ sensor with modulated response at room temperature

著者 (18件)： Huang Ting-Hsuan (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Huang Ting-Hsuan (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Li Pei-Yi (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Li Pei-Yi (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Yang Jin-Bin (Graduate Institute of Photonics and Optoelectronics, National Taiwan University, 106 Taipei, Taiwan) ,  Yang Jin-Bin (Department of Electro-Optical Engineering, National Taipei University of Technology, 106 Taipei, Taiwan) ,  Liu Te-Yao (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Liu Te-Yao (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Chen Mei-Hsin (Department of Electro-Optical Engineering, National Taipei University of Technology, 106 Taipei, Taiwan) ,  Liu Po-Tsun (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Liu Po-Tsun (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Meng Hsin-Fei (Institute of Physics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Lu Chia-Jung (Department of Chemistry, National Taiwan Normal University, 162, Heping East Road, Section 1, 106 Taipei, Taiwan) ,  Soppera Olivier (Universite de Haute-Alsace, CNRS, IS2M UMR 7361, F-68100 Mulhouse, France) ,  Soppera Olivier (Universite de Strasbourg, 67081 Strasbourg, France) ,  Yeh Ping-Hung (Department of Physics, Tamkang University, 151, Yingzhuan Rd., Tamsui Dist., 25137 New Taipei City, Taiwan) ,  Zan Hsiao-Wen (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, 1001, Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan) ,  Zan Hsiao-Wen (Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Chiao Tung University, 1001 Ta Hsueh Road, 300 Hsinchu, Taiwan)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 354  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直チャネル構造を有するゾル-ゲル薄膜デバイスを用いて室温操作高感度NO_2センサを提案した。垂直チャネルで,低導電性金属酸化物クラスタは,十分に大きな電流を与えた。したがって,膜組成を簡単に調整することによって,従来の横方向チャネル金属酸化物デバイスでは観測されないユニークなセンシング変調特性に注目した。組成の調整と表面特性の調査による系統的研究によって,感度に影響する主要因子としてヒドロキシル基のレベルを提案した。最後に,良好な選択性,再現性,及びシェルフライフが成功裏に示された。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電流 ,  *金属酸化物 ,  表面性状 ,  ゲル ,  シェルフライフ ,  再現性 ,  ヒドロキシ基 ,  *クラスタ ,  センサ ,  高感度 ,  チャネル ,  ゾル-ゲル法 ,  導電性
準シソーラス用語： 薄膜素子 ,  *垂直チャンネル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 金属酸化物クラスタ ,  ゾル-ゲル ,  ガスセンサー ,  ヒドロキシル基

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 室温 ,  変調 ,  応答 ,  高感度 ,  垂直チャネル ,  金属酸化物 ,  クラスタ