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J-GLOBAL ID：202202245794310105   整理番号：22A0446582

CVD反応器の蒸発器のためのエアロゾル輸送モデリング【JST・京大機械翻訳】

Aerosol Transport Modeling for Evaporator of CVD Reactor

著者 (4件)： Kleimanov Roman (Alferov University, St. Petersburg, Russia) ,  Korshunov Andrey (Alferov University, St. Petersburg, Russia) ,  Komarevtsev Ivan (Alferov University, St. Petersburg, Russia) ,  Alexandrov Sergey (Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia)
資料名： Springer Proceedings in Physics  (Springer Proceedings in Physics)
巻： 268  ページ： 221-227  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5066A  ISSN： 0930-8989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,化学蒸着(CVD)反応器内部の液滴蒸発プロセスをモデル化する新しい方法を提案した。この方法は,変形メッシュとしてモデリングの複雑部分を除外することを可能にし,液滴と輸送ガスの表面間の熱伝達表面の計算を可能にする。この方法はまた,モデリングの時間を最小化することができる。輸送ガス流のモデリングと分散相(エアロゾル液滴)の濃度の計算に基づく方法。この方法はいくつかの制限を持ち,10%以下の分散相濃度を有する希釈種の輸送をモデル化することを可能にした。この方法を用いて,SiO_2堆積プロセスのためのデカメチルシクロペンタシロキサン蒸発器の加熱器パワーを予測した。実験研究は,数値研究データと測定した蒸発加熱器パワーの良好な整合を示した。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Switzerland AG 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 液滴 ,  *エアロゾル ,  *蒸発 ,  熱伝達 ,  加熱器 ,  *蒸発器 ,  希釈 ,  *反応器 ,  気体流 ,  化学蒸着
準シソーラス用語： 数値研究 ,  液滴蒸発 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 化学蒸着 ,  計算流体力学 ,  モデリング ,  熱伝達 ,  エアロゾル輸送

分類 (1件)： 粒状物調査測定  (SB03060E)

物質索引 (1件)： デカメチルシクロペンタシロキサン

タイトルに関連する用語 (5件)： CVD ,  反応器 ,  蒸発器 ,  エアロゾル ,  輸送モデリング