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J-GLOBAL ID：202202246274673484   整理番号：22A0684171

段取り時間,ジョブリリース,および呼気時間を持つ半導体ファブにおける非関連並列機械スケジューリングのためのハイブリッドタブー探索アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】

Hybrid tabu search algorithm for unrelated parallel machine scheduling in semiconductor fabs with setup times, job release, and expired times

著者 (4件)： Chen Changyu (Singapore Management University, Singapore) ,  Fathi Mahdi (Department of Information Technology and Decision Sciences, G. Brint Ryan College of Business, University of North Texas, Denton, TX, USA) ,  Khakifirooz Marzieh (Department of Industrial Engineering, Tecnologico de Monterrey, Monterrey, NL, Mexico) ,  Wu Kan (Business Analytics Research Center, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
資料名： Computers & Industrial Engineering  (Computers & Industrial Engineering)
巻： 165  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0502B  ISSN： 0360-8352  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,ウエハ製作のイオン注入プロセスで生じるスケジューリング問題によって動機づけられる。イオン実装スケジューリング問題を,ジョブ放出時間及びジョブを特定のマシンで処理することを可能にする,即ち,R|rj,eij,STsd|C_max,を処理できるようにしたシーケンス依存セットアップ時間を有する,無関係な並列マシンスケジューリング(UPMS)問題としてモデル化した。目的は,最初に処理ジョブの数を最大化することであり,次に,最大完了時間(メイクスパン)を最小化し,最後に,非ボトルネック機械の最大完了時間を最小化することである。混合整数計画法(MIP)モデルを解法として提案し,近似可能な解を得るためのハイブリッドタブー探索(TS)アルゴリズムを採用した。MIPモデルは2つの相を持ち,最初の2つの目的を達成する試みである。ハイブリッドTSアルゴリズムは3つの相を持ち,全ての3つの目的を達成する試みである。実際の設定では,計算結果により,ハイブリッドTSアルゴリズム(平均8s)を用いて,処理ジョブの最大数を短時間で取得できることを示した。2つのアプローチを比較することによって,TSは,第2の目的のための解法品質と計算時間に関してMIPモデルより優れて,メイクスパンを最小にした。さらに,ハイブリッドTSアルゴリズムの第3位相は,イオン注入装置の利用を増強するために,さらに有効性を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  イオン ,  *半導体 ,  機械 ,  *スケジューリング ,  イオン注入 ,  近似法 ,  混合整数計画法 ,  モデル ,  位相 ,  *呼気 ,  有効性 ,  並列計算機 ,  *タブー探索
準シソーラス用語： メイクスパン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： スケジューリング ,  非関連並列マシン ,  セットアップ時間 ,  呼気時間 ,  仕事の解放 ,  ウエハ製作 ,  混合整数計画法 ,  タブー探索

分類 (1件)： 工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 段取り時間 ,  呼気 ,  ファブ ,  並列機械スケジューリング ,  タブー探索アルゴリズム