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J-GLOBAL ID：202202246620103380   整理番号：22A0920698

ステッチング計算機ホログラムにおけるオーバレイエラーにより誘起された波面収差の評価【JST・京大機械翻訳】

Evaluation of wavefront aberrations induced by overlay errors in stitching computer-generated holograms

著者 (9件)： Bai YingYing (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Bai YingYing (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Zhang ZhiYu (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Chen TianBao (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Chen TianBao (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) ,  Wang RuoQiu (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Wei HongDa (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Zeng XueFeng (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) ,  Zhang XueJun (Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 152  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大開口望遠鏡の出現は,大規模光学系の試験および支援アラインメントの必要性を燃料とする。コンピュータ生成ホログラム(CGH)は,非球面光学試験および支援アラインメントのための有用な方法であり,大規模CGHは大規模な非球面システムに必要である。しかし,CGHの最大サイズは,その現在のリソグラフィー能力のため,一般に6~9インチの範囲である。ステッチング技術は,より大きなサイズのCGHを実現するための有望な方法である。概念の証明として,80mmの開口を有するCGHを,ステッチングにおけるオーバレイ誤差を調べるために,多段階リソグラフィーを用いて製作した。理論的導出は,付加的チップ/チルト収差が,調整誤差からの収差と共通するオーバレイ誤差により導入されることを明らかにした。したがって,オーバレイ誤差の影響を予算するために,評価方法を本研究で提案する。評価結果は,測定における結合収差の分離と補償を導く。ステッチングCGHの精度は補償後のRMSに関して0.156λから0.017λまでかなり改善されることを検証した。ステッチング法の開発と誤差評価の間に本研究で得られた知見は,CGHのステッチングにおける技術開発と試験精度の改善を促進することが期待される。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  誤差 ,  *収差 ,  望遠鏡 ,  光学系 ,  誤差解析 ,  開口 ,  *計算機ホログラム ,  *波面収差 ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： 非球面 ,  非球面光学 ,  ステッチ溶接 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 計算機ホログラム ,  光学的試験 ,  誤差解析

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  ホログラフィー一般  (BD03071V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ステッチング ,  計算機ホログラム ,  オーバレイ ,  エラー ,  誘起 ,  波面収差 ,  評価