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J-GLOBAL ID:202202247702745763   整理番号:22A0419913

フェムト秒レーザーを用いたポストイオン化SNMSによるヘリウム広領域イメージング法の開発

Development of large-area imaging of helium isotope by SNMS using post ionization by a femto-second laser
著者 (3件):
資料名:
巻: 68th  ページ: p.143-(J-STAGE)  発行年: 2021年 
JST資料番号: U1296A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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LIMAS(Laser Ionization Mass Nanoscope)は,微小領域の希ガス分析が可能な,フェムト秒レーザーを用いた二次中性粒子質量分析計(SNMS)の一種である。本研究では,コンドリュール中の太陽起源高エネルギー粒子を検出するため,LIMASを改造しヘリウム広領域イメージング法を開発した。ポストイオン化領域を広げるため,一次イオンの画像走査に同期してレーザービームの中心線が移動するソフトウェアを開発し,広領域イメージングシステムを構築した。基礎実験として,15keVの4He+イオンをシリコン基板に照射量1×1016cm-2をイオン打ち込みした試料を用いて,広領域イメージングを行った。その結果,200×100μm四方のヘリウムイメージングが可能になった。(著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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岩石圏の地球化学一般 

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