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J-GLOBAL ID：202202247831159064   整理番号：22A1033724

三角周波数同調コムアレイ【JST・京大機械翻訳】

A Triangular Frequency-Tuning Comb Array

著者 (2件)： Lee Ki Bang (Samsung Advanced Institute of Technology) ,  Cho Young-Ho (Korea Advanced Institute of Science and Technology)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE97  ページ： 127-131  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三角形形状に配列したDCバイアス静電同調-櫛構造を用いた横方向駆動静電マイクロ共振器の新しいポスト製作周波数同調法を提案した。同調-櫛構造は線形静電力を用いてマイクロ共振器の共振周波数を調整し,線形に変化する指長の同調-櫛により発生した。DCバイアス三角形同調-櫛アレイによって引き起こされる静電同調力および関連する周波数変化を,周波数同調マイクロ共振器の同調電圧Aセットの観点から誘導し,4マスク表面マイクロマシニングプロセスにより製作した。空気減衰効果を除くために,1torrの圧下圧で微細加工マイクロ共振器の共振周波数を測定した。20Vの同調電圧増加に対して80Hzの共振周波数低減を得た。理論推定値と実験結果との不一致の可能な源を考察した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電圧 ,  駆動 ,  *同調 ,  線形性 ,  バイアス ,  微細加工 ,  推定量 ,  共振周波数 ,  微小共振器 ,  アレイ
準シソーラス用語： 静電気力 ,  *周波数同調 ,  周波数変化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 三角 ,  周波数同調 ,  コム ,  アレイ