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J-GLOBAL ID:202202247984099242   整理番号:22A0396333

量子閉込めナノシートFETのためのボトムアップスケーラブルコンパクトモデル【JST・京大機械翻訳】

A Bottom-Up Scalable Compact Model for Quantum Confined Nanosheet FETs
著者 (5件):
資料名:
巻: 69  号:ページ: 380-387  発行年: 2022年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,ナノシートFETにおけるチャネル電荷とドレイン電流に対する物理ベースコンパクトモデルを示した。モデルはボトムアップアプローチに従う。チャネル電荷は1D状態密度(DOS)を用いて計算し,閉込めが特定の方向に減少するので,2-Dまたは3-D DOSを有するデバイスに対してシームレスにスケールアップした。モデルは,完全なFermi四角形(FD)統計を使用し,2つの追加フィッティングパラメータのみを必要とする。モデルの正確度を,インハウス2D結合Poisson Schroedinger(PS)ソルバーと技術計算機支援ツール(TCAD)シミュレーションからのデータと比較することによって確認した。提案したモデルは,異なる寸法と印加バイアスを有するナノシートFET(NsFET)のサブバンドエネルギー,反転電荷,チャネル電位,ドレイン電流を正確に予測した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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