文献

J-GLOBAL ID：202202248324624108   整理番号：22A0975683

GHz周波数ナノ電気-オプト-メカニカルシステムのための室温シリコンプラットフォーム【JST・京大機械翻訳】

Room-Temperature Silicon Platform for GHz-Frequency Nanoelectro-Opto-Mechanical Systems

著者 (12件)： Navarro-Urrios Daniel (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), CSIC and BIST, Spain) ,  Navarro-Urrios Daniel (MIND-IN2UB, Departament d’Electronica, Facultat de Fisica, Universitat de Barcelona, Spain) ,  Colombano Martin F. (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), CSIC and BIST, Spain) ,  Arregui Guillermo (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), CSIC and BIST, Spain) ,  Madiot Guilhem (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), CSIC and BIST, Spain) ,  Pitanti Alessandro (NEST, Istituto Nanoscienze - CNR and Scuola Normale Superiore, Italy) ,  Griol Amadeu (Nanophotonics Technology Center, Universitat Politecnica de Valencia, Spain) ,  Makkonen Tapani (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd., Finland) ,  Ahopelto Jouni (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd., Finland) ,  Sotomayor-Torres Clivia M. (Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2), CSIC and BIST, Spain) ,  Sotomayor-Torres Clivia M. (Catalan Institute for Research and Advances Studies ICREA, Spain) ,  Martinez Alejandro (Nanophotonics Technology Center, Universitat Politecnica de Valencia, Spain)
資料名： ACS Photonics  (ACS Photonics)
巻： 9  号： 2  ページ： 413-419  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5045A  ISSN： 2330-4022  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ電気機械システムは,新しい機能を実現するために,チップ上の電気的,機械的,および光学的信号の相乗的共存を可能にする。これまで,これらのシステムの製作のために提案された技術プラットフォームの大部分は,主流CMOS技術と完全に互換性がなく,従って,大規模利用を妨げる。機械的信号とナノ結晶シリコンナノビームの電子駆動のための圧電交差指変換器を含むナノ電気-機械システム用のCMOS技術プラットフォームを,強化された光機械相互作用のために開発した。2GHzでのデバイスの室温動作と2.6キャビティフォノンまでのピーク感度を示した。この原理証明技術プラットフォームは,シリコンフォトニクス,エレクトロニクス,およびMEMSデバイスと統合およびインタフェイス化でき,古典的および量子ドメインにおけるコヒーレント信号処理のための多重機能を可能にする。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 相互作用 ,  変換器 ,  互換性 ,  システム ,  圧電気 ,  多重化 ,  電子技術 ,  オプトエレクトロニクス ,  *周波数 ,  インタフェイス ,  *プラットフォーム【通信】 ,  MEMS
準シソーラス用語： シリコンフォトニクス ,  CMOS技術 ,  ナノ梁 ,  コヒーレント信号 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 空洞オプトメカニクス ,  ナノエレクトロ-オプト-メカニカルシステム(NEOMS) ,  シリコンフォトニクス ,  櫛形変換器 ,  マイクロ波から光学への変換

分類 (3件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  光通信方式・機器  (ND10000B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： GHz ,  室温 ,  シリコン ,  プラットフォーム